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川崎 NT520 工作范围：1280mm

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更新时间：2024-12-19 20:17:07浏览次数：51次

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昆山独角兽机器人有限公司

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产品简介

川崎 NT520 工作范围：1280mm

详细介绍

NT系列机器人:

NT410 / NT510 单手臂
NT420 / NT520 双手臂
NT620悬挂式安装，双手臂

应用:

无尘室

无尘机器人外设:

抓手
校准器NS004

产品介绍

的伸展距离单个的NT系列手臂可以伸展到四个FOUP。选配的线性轴可以增加FOUP多到五个。高吞吐量标准NT机器人的吞吐量是用校准器280晶圆每小时（WPH）与不用校准器400WPH。可用选配的抓手，增加吞吐量到700WPH。SEMI F47合规NT型号可以瞬时响应电波动，如电压下降，并且在电压恢复时自动恢复运行。SEMI S2合规NT型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。碰撞检测软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能，以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。悬挂式安装NT620型号具有吊装规格设计，用于在化学液体环境中使用，同时满足ISO1级的要求。

应用范例

NT系列宽广的运动范围使其能够访问主室，而不需要一个梭子或额外的机器人。

布局范例

一个单个的NT系列机器人能够不使用轨道而只用2到4个FOUP就访问所有的EFEM。

NT系列机器人规格

型号		NT410	NT420	NT510	NT520	NT620
构造		水平多关节型
自由度		4 轴	5 轴	4 轴	5 轴	5 轴
运动范围	θ1 轴 (旋转JT2)	340°	340°	340°	340°	340°
	Z 轴 (上下JT3)	400 mm	400 mm	470 mm	470 mm	600 mm
	θ2 轴 (旋转JT4)	340°	340°	340°	340°	340°
	H1 轴 (旋转JT6)	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2
	H2 轴 (旋转JT7)	-	340°	-	380°	380°
大伸展距离		1,230 mm	1,280 mm	1,230 mm	1,280 mm	1,250.7 mm
重复性		± 0.1 mm （晶圆中心）
*无尘度1**		ISO 1级
控制柜		D60/D61 (规格见无尘控制柜)