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真空插板阀结构原理

阅读：57发布时间：2025-2-24

插板阀是隔绝两个相邻空间的重要部件，在真空行业中，插板阀被广泛应用于各种真空设备上，用来隔绝两个不同的真空度的区域或者隔绝真空环境与其他气体环境。

随着半导体行业的蓬勃发展，真空插板阀也越来越多的应用于半导体真空制程中。传统真空插板阀运动机构、导向机构位于插板阀壳体内部；在驱动阀板运动过程中，运动机构、导向机构中的零件与零件之间碰撞、摩擦等会产生金属颗粒，引入到半导体制程中，进而污染晶圆。为了克服现这些问题，相关厂家研发了新型的真空插板阀。

真空插板阀主要包括壳体和阀板，阀板在两个驱动装置的驱动下运动，原理是驱动件1带动阀板整体上下运动，接近、远离法兰口位置，驱动件2带动阀板前后运动，贴近、远离壳体的密封面，实现阀板的“l"形运动，从而减少了壳体内的运动机构，减少金属颗粒的产生，防止向半导体制程中引入金属颗粒，污染晶圆。

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