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更新时间：2025-07-10 04:41:50浏览次数：45次

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VPS-RF10是一款小型科研用射频真空等离子清洗机，拥有多层处理电极，有效提高腔体利用率，满足多种清洗需求。其原理是利用高频的交变电场作用于真空气体中，形成大量的等离子体，通过复杂的物理和化学过程来去除材料表面的污染物。采用这种方法能够提升材料的粘附性与湿润性，去除不同类型的污染物和杂质，从而为之后的工序奠定良好的基础。

PS-RF10 小型科研型射频真空等离子清洗机特点：进口等离子电源电路技术、放电结构，确保等离子体均匀分布

PS-RF10 小型科研型射频真空等离子清洗机应用：提高亲水性、提高粘接性、有机物清洗、PDMS键合、硅片玻璃清洗、氧化物还原

PS-RF10 小型科研型射频真空等离子清洗机

产品参数：

型号	VPS-RF10
等离子频率	13.56MHz自动阻抗匹配
极限真空度	1Pa
功率	0-300W（可调）
腔体尺寸	230(L)270(D)200(H)mm
腔体容积	11L
单层有效处理面积	210（L）×220（D）mm
处理层数	3层
极板间距	58mm
腔体材质	进口级316L不锈钢
气路数量	2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气等（腐蚀性气体需定制）
控制方式	PLC+触摸屏
电源	AC220V/50Hz
外形尺寸	550mm(L)×580mm(W) ×500mm(H)