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wire bonding真空等离子清洗机氧化物清洗

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地深圳市

更新时间:2025-07-11 03:55:02浏览次数:15次

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VPS-RF120 真空等离子清洗设备是一款针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机,处理室为圆筒形石英玻璃,处理器为电容耦合外电极型,内部无电极。

VPS-RF120 真空等离子清洗设备简介:

VPS-RF120真空等离子清洗设备主要由真空腔体、高频等离子电源、真空产生及测量系统、工艺气体系统、控制系统等部分组成。工作基本原理是利用真空泵将工作室进行抽真空到一定的真空度后,通入工艺气体,在高频发生器作用下,在阳极和阴极之间形成高频交变电场,将气体进行电离,形成等离子体。当气体到达等离子状态时,气态分子会裂变成许多高度活跃的粒子。等离子清洗的机理正是依靠处于“等离子态"的物质的“活化作用",达到去除物体表面污渍或改善表面活性的目的。


   

VPS-RF120 真空等离子清洗设备


VPS-RF120 真空等离子清洗设备特点:欧美放电技术,专业型放电结构,科学仿真等离子体分布均匀,处理效果均匀

产品应用:去除表面有机物、表面油污清洗、提高表面亲水性、改善表面粘接性、提高表面附着力、提高绑定性能

       

产品参数:

型号

VPS-RF120

等离子频率

13.56MHz 自动阻抗匹配

工作真空度

10-100Pa

真空泵

油泵/干泵(可选)

功率

0-1000W可调

腔体材质

进口级316L不锈钢/航空铝合金(可选)

腔体尺寸

500(W)*500(D)*490(H)mm

腔体容积

120L

单层有效处理面积

450mm(W)*430mm(D)

气路数量

2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等(腐蚀性气体需定制)

处理层数

8层(可定制)

控制方式

PLC+触摸屏

电源

AC380V,50/60Hz

外形尺寸

950mm(L)×1100mm(W) ×1800 mm(H)


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