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当前位置：深圳深光达科技有限公司>> 小型桌面式等离子体清洗机 刻蚀键合
产品简介：VPS-RF05是一款小型桌面型真空等离子处理仪，其原理是在真空状态下（约10~100pa），给气体施加电场，气体在电场提供的能量下会由气态转变为等离子体状态（也称物质的“第四态"），其中含有大量的电子、离子、光子和各类自由基等活性粒子，比通常的化学反应所产生的活性粒子种类更多、活性更强，更易于和所接触的材料表面发生反应。通过利用这些高能粒子和活性粒子与材料表面发生物理或化学的反应，从而达到改变材料表面性质的目的。
VPS-RF05 小型桌面型真空等离子处理仪特点：进口等离子电源电路技术、放电结构，确保等离子体均匀分布
VPS-RF05 小型桌面型真空等离子处理仪应用：去除表面有机物、提高粘接性、提高表面润湿性、提高生物相容性、提高表面能、改善表面粗糙度
产品参数：
型号 | VPS-RF05 |
频率 | 13.56MHz自动阻抗匹配 |
功率 | 0-200W连续可调 |
腔体材质 | 进口级316L不锈钢 |
腔体容积 | 5L |
腔体尺寸 | Φ150（直径）×280（D） |
有效处理面积 | 140（W）*250(D)mm |
气体流量控制器 | MFC 质量流量控制器 |
气路数量 | 2 路气体，常用O2、Ar2、N2，H2、等（腐蚀性气体需定制） |
真空测定系统 | 皮拉尼真空硅管 |
极限真空度 | 1Pa |
控制方式 | 4.3寸触摸屏+PLC |
真空泵 | 油泵/干泵（选配） |
电源供应 | AC220V/50Hz |
外形尺寸 | 550mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H) |
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