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纳米压印芯片光刻机,由于本机找平机构先进,找平力小、使本机不仅适合单晶硅片、玻璃片、陶瓷片、铜片、不锈钢片、宝石片的曝光,而且也适合易碎片如砷化钾、磷化铟等基片...
微纳米芯片光刻系统,本机统针对各大专院校、企业及科研单位,对光刻机使用特性研发的一种高精度光刻系统。
紫外纳米芯片光刻系统,主要用途,本机针对各大专院校、企业及科研单位,对光刻机使用特性研发的一种高精度光刻机。
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