SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗*力强、*稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。

SJ6000激光干涉仪功能特点：

1.测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光*稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。
 2.具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并可以校准机床的回转轴。
 3.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。
 4.具有动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测量与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。
5.内置国内外通用的标准，如国标（GB）、ISO（）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
 6.可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。
 7.测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel文档。
 8. 安装方便：基本重量为15kg，简单便携。

SJ6000激光干涉仪技术参数：

系统性能
测量方式：单频
稳频精度：0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%
存储温度范围：-20℃~70℃
环境补偿示值误差
空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空气湿度传感器：±6% (0-95%)
大气压力传感器：±0.1kPa
 线性测量
测量距离：0-40m
测量精度：0.5ppm (0-38℃)
测量分辨率：1nm
测量zui大速度：4m/s
 

应用：

1. 位移传感器
 激光干涉仪在位移传感器检定中的应用已成为一大发展趋势，其特点是测量精度快、反应速度快、易于数字化测量。在测量中设计一个精密导轨，将反射镜同被测传感器放在一起同步检测，从而形成对比，位移传感器自动检定系统与HP干涉仪对定位移进行测试对比，得出往复测试实验结果。

2. 数控机床检定中的应用
随着数控机床应用的普及，采用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测已经成为目前*的高效、高精度的检测方法。激光干涉仪可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等在线位置测量、误差修正和控制，其中双频激光干涉仪应用zui多。与传统的检定方法相比，激光干涉仪具有较高的精度和效率，并能及时处理数据，为机床误差修正提供依据，位置精度是机床的重要指标，目前各国机床检定标准中都*使用激光干涉仪。双频激光干涉仪在机床中的应用是其它传统测量手段难以实现和替代的。
未来，激光干涉仪可从光源、探测器、信号处理系统、光学系统等方面进行发展，从测量数据的可靠性、精确性，以及测量仪器的便携性等，不断改善激光干涉仪的各项性能。