蔡司GeminiSEM系列高对比度、低电压成像的场发射扫描电子显微镜
具有出色的探测效率,能够轻松地实现亚纳米分辨成像。无论是在高真空还是在可变压力模式下,更高的表面细节信息灵敏度让您在对任意样品进行成像和分析时都具备更佳的灵活性,为您在材料科学研究、生命科学研究、工业实验室或是显微成像平台中获取各种类型样品在微观世界中清晰、真实的图像,提供灵活、可靠的场发射扫描电子显微镜技术和方案。
基本规格 | 蔡司 GeminiSEM 500 | 蔡司 GeminiSEM 450 | 蔡司 GeminiSEM 300 |
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热场发射电子枪,稳定性优于0.2 %/h | |||
加速电压 | 0.02 - 30 kV | ||
探针电流 | 3 pA - 20 nA | 3 pA - 40 nA | 3 pA - 20 nA |
(100 nA配置可选) | (100 nA或300 nA配置可选) | (100 nA配置可选) | |
存储分辨率 | 高达32k × 24k 像素 | ||
放大倍率 | 50 – 2,000,000 | 12 – 2,000,000 | 12 – 2,000,000 |
标配探测器 | 镜筒内Inlens二次电子探测器 | ||
样品室内的Everhart Thornley二次电子探测器 | |||
可选配的 项目 | 镜筒内能量选择背散射探测器 | ||
- | 角度选择背散射探测器 | 角度选择背散射探测器 | |
环形STEM探测器(aSTEM 4) | |||
EDS能谱仪 | |||
EBSD探测器(背散射电子衍射) | |||
NanoVP可变压力模式 | |||
高效VPSE探测器(包含在NanoVP可变压力选件中) | |||
局部电荷中和器 | |||
可订制特殊功能样品台 | |||
环形背散射电子探测器 | |||
阴极射线荧光探测器 |