电子抗蚀剂(Electron resist)是用于电子束曝光的一种抗蚀剂,属于高分子聚合物,其性能类似于光学曝光中的光致抗蚀剂,即辐照可使其产生化学或物理变化而形成图形。有正性电子抗蚀剂和负性电子抗蚀剂之分。一般,负性电子抗蚀剂的曝光灵敏度比正性电子抗蚀剂的要高得多,但正性电子抗蚀剂的分辨率要高于负性电子抗蚀剂。在我们的日常生活中,几乎不会直接看到抗蚀剂。但是,抗蚀剂在我们周围被广泛使用。比如电子电器产品的线路板、半导体、LCD(液晶)、印刷物上等。其用途主要是通过涂布形成保护膜,或防止短路。用来保护线路板的抗蚀剂多为绿色,单实际上抗蚀剂不但有绿色,其颜色多种多样。抗蚀剂之所以多种颜色,其目的并不限于设计性,还有其它实际用途,比如,隐藏线路板的配线,使回路设计保密等。
三联测控MSDR-70HD型在线电子抗蚀剂浓度分析测试仪是基于折光原理开发的一款高精度、高性价比的浓度测量仪器,采用全浇注玻璃钢外壳和全屏蔽钢板内壁设计,光电信号直接转换处理,无耗材,无漂移;使用操作简单方便、维护量少、工作可靠;在线检测抗蚀剂浓度不受压力、流速、颜色、浑浊度,气泡,固体颗粒等杂质的影响;浓度仪探头直接安装于生产管线或槽体容器上,输出4-20mA模拟信号或RS485通讯信号至监视器或者控制器,从而实现对管线内或槽体内抗蚀剂浓度进行实时检测及自动化控制。改变长期以来依靠人工测量、人工记录、手工控制的粗放式生产管理方式,杜绝人为控制的浓度失调,通过在线监测抗蚀剂浓度,可以提高自动化程度,消除人工检测误差,保证浓度稳定性,提升产品质量,提高自动化程度。
MSDR-70HD型在线电子抗蚀剂浓度分析测试仪产品特点
出厂校准和自动温度补偿,直接投入使用,无需现场校准
不受抗蚀剂颜色、浑浊度、粘度、气泡,固体颗粒、纤维杂质等等的影响
采用589nm LED光源,寿命长达100000小时,整个寿命周期都不需要替换或校准
内置PT1000温度传感器,具备高精度的自动温度补偿功能
输出4-20mA模拟信号或RS485通讯信号连接PLC与DCS等控制单元,实现上下限报警,阀门开关,继电器动作等操作
自动清洗功能,防止污垢附着棱镜,确保长期稳定工作