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氧化炉

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沧州信达环保设备科技有限公司是从事废气处理设备设计、生产、制造的企业,承接GRTO蓄热式焚烧炉、RCO/TO等废气处理设备、废气处理设备、焚烧炉、工业废气处理设备、化工废气处理设备等废气处理设备,提供各行业VOCs废气处理解决方案和交钥匙工程服务。 信达环保是较早从事并拥用自主知识产权的工业废气VOCs治理的厂家,先后在光氧催化、等离子、油烟净化器、粉尘处理、催化燃烧、蓄热氧化处理工艺及装备、分子筛吸附浓缩转轮技术等领域取得突破,掌握多项技术和产品工艺。公司产品广泛应用于汽车涂装、石油化工、包装印刷、医药制造、涂布涂料等VOCs治理行业,对于大风量、低浓度、成分复杂的各类工业废气,通过组合工艺设计,达到处理、能源消耗低、运行费用低;其中蓄热氧化装置(RTO)、分子筛吸附浓缩转轮、纳米纤维除尘滤筒、ACF吸附回收等环保设备性能优良, 信达环保现已成设备供应商。 我们秉承“创新与品质并重,质量与效益同行”的经营理念,持续不断的探索和创新,实现“投资合理、运行费低、”的产品品质。*网络覆盖二十多个省市,为客户及加盟商提供方便、的服务。沧州信达环保设备科技有限公司提供废气治理技术和设备,达到“核心材料自主化、非标设备模块化、标准设备流程化、项目工程化”的企业发展目标。
油烟净化器 光氧催化废气净化器 等离子废气净化器
碳化硅高温氧化炉能够满足SiC圆片的高温氧化工艺;同时亦可用于常规的硅圆片的氧化
氧化炉 产品信息

碳化硅高温氧化炉能够满足 SiC 圆片的高温氧化工艺; 同时亦可用于常规的硅圆片的氧化。

简介

Centrotherm Oxidator 150 经过团体的, 能够满足 SiC 圆片的高温氧化工艺; 同时亦可用于常规的硅圆片的氧化。

Oxidator 150

Oxidator 150 [1]

炉管和加热器均处于真空密闭反应腔内; 上下料腔室可用Ar或 N2 进行吹扫。这样的设计可以有毒气体 [如 NO, N2O, H2, NO2 等] 使用。

MOSFET(金属氧化物半导体场效应管)氧化工艺使用 N2O 气氛, 可以 SiO2/SiC 接触表面以获得高的通道迁移率, 同时可提高SiC表面氧化物的稳定性和寿命。

高达 1350 ℃ 的温度和其他支持功能为研制SiC 氧化工艺和低界面陷阱密度, 高通道移动率的氧化层提供可能。

新式 centrotherm Oxidator 150 的反应腔,具有高性能, 占地少和降低成本生产的特点; 提供工艺灵活度, 同时能够有毒气体的使用。

性能

真空密封反应腔

占地面积小 [1.8m2]

批处理圆片尺寸2″, 3″, 4″, 6″

批处理数量 40 片硅片2″, 50片硅片6″

真空度小于10-3 mbar

可以并排安装


  
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