EUV滤光片
由于它是一款自立式EUV滤光片，因此具有出色的透光率和平整度。 另外，还有一个带有抗氧化膜的过滤器。 由于耐氧化性优异，因此与通常的过滤器相比，透过率的劣化小。
主要用途
· 将高次谐波从基波中分离出来；
· 去除不需要的波长，如同步辐射，等离子体X射线等；
· 预防等离子体X射线中的碎片；
· 真空窗，差压窗口
对应波长区
· 可以对应于每个极紫外线和软X射线波长区域。
· 近波长13.5nm（Zr过滤器）
· 近波长29.6nm（铝过滤器）
· 近波长61.5 nm（Sn滤光片）
支撑薄膜
· 它可以在各种支撑薄膜和支撑上形成；
· 聚合物膜支撑过滤器；
· 网格支撑滤器；
· SiN膜支撑滤器；
聚合物膜支撑过滤器 网格支撑过滤器 膜支撑过滤器
其他种类
各种材料透射率的计算值（膜厚度：100nm）：
我们还设有层压膜过滤器，硬X射线过滤器等产品。
