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微型PECVD系统

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海绘吉电子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2022/9/8 9:11:20
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上海绘吉电子科技有限公司主要代理欧、美、日及科学仪器、工业质检仪器及相关消耗品,专业涉及高校、新能源、钢铁行业、科研研究及轻工化工、在国内特别是华东地区具有广泛的客户基础和良好的商业信誉。经过几年的发展,绘吉公司已经在同行业中确立了多方面的好的地位,无论在公司规模、人员素质、经营品种、销售能力和售后服务等各方面获得了同行及用户的广泛认可。 上海绘吉电子科技有限公司从事分析类仪器(荧光光谱仪,质谱仪,粒度仪,真空系列等分析类设备),电池材料制备设备,实验室仪器,理化分析类仪器,微生物仪器,生理仪器及实验室耗材。。上海绘吉电子科技有限公司从事分析类仪器(荧光光谱仪,质谱仪,粒度仪等分析类设备),德国普发真空设备,电池材料制备设备,实验室仪器,理化分析类仪器,微生物仪器,生理仪器及实验室耗材。上海绘吉-德国普发真空Pfeiffer Vacuum-作为的真空技术解决方案的供应商之一。我们不仅拥有全系列的混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵, 同时还拥有各种旋片泵,干泵,罗茨泵,氦气质谱检漏仪,真空规,四级质谱仪等产品以及真空管件和综合真空系统。 从普发1958年发明涡轮分子泵至今, 我们在分析、研发、镀膜、太阳能、半导体和其他工业领域,始终代表着创新的解决方案、高品质、稳定可靠的产品和的服务。公司自1890年创立至今百余年,现有将近2300名员工,20多家分公司遍布,并且在德国、法国、罗马尼亚、韩国设有生产制造基地。随着中国综合国力的提升,产业结构升级,以及对节能减排,科研和高精尖制造工艺的强烈需求,对真空技术的需求也在不断的提升。作为德国 Pfeiffer Vacuum GmbH 的全资子公司,普发真空技术上海有限公司 Pfeiffer Vacuum (Shanghai) Co., Ltd. 于 2007 年正式入驻中国上海,标志着普发真空在中国的业务已经初具规模,以及公司对中国持续增长的信心。公司现坐落于上海市浦东新区世纪公园附近,并且在江苏无锡建有 4000m2 的售后服务工厂。上海绘吉电子科技有限公司获得深圳科晶智达科技有限公司一级代理权,科晶为研究新一代可充电电池,超级电容器与快速储能材料提供最完整的成套解决方案。方案定位于锂电池的研究市场,主要为大专院校、科研院所以及生产企业提供实验室用的小型混压设备和机械加工与测试等一系列产品,提供研发环节所需的电池能源材料制备相关设备产品与成套实验室方案:“混料-烧料-分析-涂层-成型-封装-测试”设备:球磨机、高温高压炉、材料分析仪、涂层机、轧机、切片机、封装机、电池分析仪等。上海绘吉电子科技有限公司成功和进口公司合作。德国普发真空设备,德国布鲁克仪器有限公司,分析仪器有限公司,美国PE公司,美国热电仪器有限公司,天美科技有限公司,岛津,莱卡仪器,日本horriba,梅特勒等进口公司
激光拉曼光谱,分子荧光光谱,激光粒度仪
微型PECVD系统
微型PECVD系统 产品信息

这款小型PECVD,其腔体为 3" dia x 16" L的石英腔体,而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热,此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上,以便于实验操作。等离子腔体内部的温度可以达到400℃,采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。

技术参数
等离子源

● 等离子体射频电源:110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W

● 输出频率: 13.56 MHz

● 三档射频功率大小: 7.2W. 10.5W 和 18W (可调节)

● 腔体尺寸:3"OD x 2.7"ID x 16" L

● 仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr(用机械泵)

1
滑动法兰

● 有一滑轨法兰安装于移动架上,以便于样品的放入和取出

● 样品可以放入加热线圈内,以达到更好的加热效率和温度的均匀性

加热圈和温控系统

● 加热圈尺寸:50mm OD x 40mm ID x 70mm,可使样品达到的温度为400℃

● 加热圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩,以减小热量损失

● 温控方面:采用PID方式调节温度,同时可设置30段升降温程序,控温精度为: +/-1ºC

● 输入电源: AC 220V, 功率:500W

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      Coil heater     Quartz protective tube    Temp. Controller      Heating coil         Alumina boat
两通道混气系统

● 混气箱上安装有两个浮子流量计,其量程为10-100SCCM

● 三个机械压力表:-0.1-0.15 MPa

● 混气箱上安装有304不锈钢针阀

● 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

● 混气箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm( 13.4"x12"x7")

● 净重: 14 lbs

真空和气体接口

标准的真空配置有

● 一套3"的不锈钢法兰(上面安装有KF-25的真空泵接口,一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀)

● 一根KF25的波纹管(长度为1m)和三KF25卡箍

● 一个数字式真空显示计

● 等离子腔体中可以通入多种惰性性气体,如N2, Ar, Air ,以及各种混合性气体

● 可以调整腔体内的压力或是进气流量,确保等离子体达到样品处

● (注意:不可通入易燃易爆性气体)

真空泵

● 仪器中配有一双旋机械真空泵,其抽气速率为120L/min

● 进气口为KF25接口,可以使腔体内真空度小于30mTorr

移动架

设备中配有一 600L x 600W x 600H(mm)的移动架,整个CVD系统可以安置于其上面

仪器尺寸

● 等离子源: 8.5" H x 10" W x 8" D

● 温控盒: 4"H x 10"W x 8"D

● 移动架:600 x 600 x 600mm

重量70 lb (包含真空泵)
质保期一年质保期(不包含石英管和密封圈)
质量认证CE 认证
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