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4路质子混气管式PECVD系统

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海绘吉电子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2022/9/15 8:50:35
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上海绘吉电子科技有限公司主要代理欧、美、日及科学仪器、工业质检仪器及相关消耗品,专业涉及高校、新能源、钢铁行业、科研研究及轻工化工、在国内特别是华东地区具有广泛的客户基础和良好的商业信誉。经过几年的发展,绘吉公司已经在同行业中确立了多方面的好的地位,无论在公司规模、人员素质、经营品种、销售能力和售后服务等各方面获得了同行及用户的广泛认可。 上海绘吉电子科技有限公司从事分析类仪器(荧光光谱仪,质谱仪,粒度仪,真空系列等分析类设备),电池材料制备设备,实验室仪器,理化分析类仪器,微生物仪器,生理仪器及实验室耗材。。上海绘吉电子科技有限公司从事分析类仪器(荧光光谱仪,质谱仪,粒度仪等分析类设备),德国普发真空设备,电池材料制备设备,实验室仪器,理化分析类仪器,微生物仪器,生理仪器及实验室耗材。上海绘吉-德国普发真空Pfeiffer Vacuum-作为的真空技术解决方案的供应商之一。我们不仅拥有全系列的混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵, 同时还拥有各种旋片泵,干泵,罗茨泵,氦气质谱检漏仪,真空规,四级质谱仪等产品以及真空管件和综合真空系统。 从普发1958年发明涡轮分子泵至今, 我们在分析、研发、镀膜、太阳能、半导体和其他工业领域,始终代表着创新的解决方案、高品质、稳定可靠的产品和的服务。公司自1890年创立至今百余年,现有将近2300名员工,20多家分公司遍布,并且在德国、法国、罗马尼亚、韩国设有生产制造基地。随着中国综合国力的提升,产业结构升级,以及对节能减排,科研和高精尖制造工艺的强烈需求,对真空技术的需求也在不断的提升。作为德国 Pfeiffer Vacuum GmbH 的全资子公司,普发真空技术上海有限公司 Pfeiffer Vacuum (Shanghai) Co., Ltd. 于 2007 年正式入驻中国上海,标志着普发真空在中国的业务已经初具规模,以及公司对中国持续增长的信心。公司现坐落于上海市浦东新区世纪公园附近,并且在江苏无锡建有 4000m2 的售后服务工厂。上海绘吉电子科技有限公司获得深圳科晶智达科技有限公司一级代理权,科晶为研究新一代可充电电池,超级电容器与快速储能材料提供最完整的成套解决方案。方案定位于锂电池的研究市场,主要为大专院校、科研院所以及生产企业提供实验室用的小型混压设备和机械加工与测试等一系列产品,提供研发环节所需的电池能源材料制备相关设备产品与成套实验室方案:“混料-烧料-分析-涂层-成型-封装-测试”设备:球磨机、高温高压炉、材料分析仪、涂层机、轧机、切片机、封装机、电池分析仪等。上海绘吉电子科技有限公司成功和进口公司合作。德国普发真空设备,德国布鲁克仪器有限公司,分析仪器有限公司,美国PE公司,美国热电仪器有限公司,天美科技有限公司,岛津,莱卡仪器,日本horriba,梅特勒等进口公司
激光拉曼光谱,分子荧光光谱,激光粒度仪
4路质子混气管式PECVD系统
4路质子混气管式PECVD系统 产品信息

型号:OTF-1200X-50-4CLV-PE品牌: 科晶


4路质子混气管式PECVD系统 核心参数

  • 升温速度(达到温)
    10℃
  • 内部尺寸
    外径: 50 ×内径: 44 ×长: 1000 mm
  • 加热方式
    电阻丝
  • 功率
    3KW
  • 控温精度
    ±1℃
  • 温度
    1200℃
  • 仪器种类
    管式炉


为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD), 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。


技术参数

实验机理

  • 辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3

  • 电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100

产品特点

  • 虽环境温度在100-300℃,但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解,离解和离化,从而大大提高了反应物的活性。因此,这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上,发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。

  • 科晶公司提供定制的薄膜材料的实验室质量可靠、价格合理的紧凑型PECVD系统。

  • 下图显示的是PECVD法用500W交流等离子体与OTF1200X507通道精密质量流量计和高真空系统气体组成

OTF-1200X开启式管式炉,工作温度高达1200℃      化学气相沉积系统的组成图

开启式管式炉

  • 工作温度:1200℃

  • 炉管尺寸:Φ50Φ60Φ80都可用

  • 温度控制器:30段高精度数字可编程温度控制器

  • 加热区长度:440mm

  • 恒温区长度:150mm

  • 功率:AC 220V 4KW

等离子射频电源

  • 输出功率:50-500W可调±1%

  • RF频率: 13.56MHz,稳定性±0.005%

  • 噪声:≤55DB

  • 冷却:风冷

  • 输入功率:1KW  AC 220V

真空泵和阀门

  • 采用KF25系列波纹管和精密针阀连接

  • 真空度可达10-3torr

  • 本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 1125Torr.不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

质量流量计

  • 内部装有高精度数字显示质量流量计可准确的控制气体流量

  • 气体流量范围为0-200 误差为0.02%

  • 一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀

  • 不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入

  • 进气口:采用国际标准双卡套接头

细节图展示


外形尺寸

  • 炉体:550*380*520mm

  • 供气及真空系统:600*600*597mm

  • 净重:120KG

质保期

一年质保期相关耗材除外,如加热元件,密封圈等易耗件

质量认证

  • CE认证

  • 所有电器元件(>24V)都通过UL?/?MET?/?CSA认证

  • 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

国家

名称:可组合式等离子增强化学气相沉积装置

编号:ZL-2011-2-0355777.1

尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究

使用注意事项:
  • 炉管内气压不可高于0.02MPa

  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

  • 石英管的长时间使用温度<1100℃

  • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)



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