德国Kleindiek微操纵仪
德国Kleindiek Nanotechnik超微操纵仪的驱动单元是由压电陶瓷构成的纳米马达，因此它的特点是能够进行纳米级精确移动，在保证纳米级移动的同时其的设计可以同时做到毫米级的移动范围，整个操纵装置全部由纳米马达驱动，从而保证了系统体积非常小，可以很容易地放入电子显微镜腔室内。
德国KleindiekNanotechnik生产的纳米显微操纵仪的突出特点：
纳米操纵精确度：安装在MM3A操纵臂前端的钨探针在X，Y方向最小移动距离为5nm，在Z方向最小移动距离为0.5nm。
快慢可调的操作速度：可以选择一个步进0.5nm，也可以选择移动速度1cm/S。MM3A将大范围和超精细操作地结合在一起。
紧凑的结构设计：MM3A体积小，可以很宽松地在电镜腔室内安装1~8个系统。
三维大空间操作范围：X、Y方向可以做240度的旋转，Z轴方向做12mm的伸长，MM3A可操作的空间范围达100cm3。
几乎无漂移：我们曾经做过实验MM3A钨探针针尖在场发射电镜放大100K条件下每隔一分钟拍一张照片，持续一小时后通过对照片的分析得出，在排除电镜电压不稳定因素外，MM3A几乎不产生漂移。
与电镜的连接：MM3A安装在加工好的平台上，该平台再固定在电镜的样品台上，整个安放过程十分方便，几分钟就可完成，不使用时将平台卸下取出既可。控制线通过电镜腔室上的空法兰穿出并密封，不会影响电镜的真空。
