货号 | 型号 | X1轴测量范围mm | 花岗岩基座尺寸（WxD） | 尺寸（主机、WxDxH） | 重量（主机） | 备注 | Z2轴垂直行程mm | Y轴工作台装置 | α轴装置 |
218-521-1 | CV-3000CNC | 200 | 750X600mm | 800X620X1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | ||
218-521-2 | CV-3000CNC | 200 | 750X600mm | 800X620X1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | ||
218-522-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | 已安装 | |
218-522-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | 已安装 | |
218-523-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | 已安装 | 已安装 |
218-523-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | 已安装 | |
218-524-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | 已安装 | 已安装 |
218-524-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | 已安装 | 已安装 |
218-541-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | ||
218-541-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | ||
218-542-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | 已安装 | |
218-542-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | 已安装 | |
218-543-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | 已安装 | |
218-543-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | 已安装 | |
218-544-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | 已安装 | 已安装 |
218-544-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | 已安装 | 已安装 |
218-561-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | ||
218-561-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | ||
218-562-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | 已安装 | |
218-562-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | 已安装 | |
218-563-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | 已安装 | |
218-563-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | 已安装 | |
218-564-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | 已安装 | 已安装 |
218-564-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | 已安装 | 已安装 |
218-581-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | ||
218-581-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | ||
218-582-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | 已安装 | |
218-582-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | 已安装 | |
218-583-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | 已安装 | |
218-583-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | 已安装 | |
218-584-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | 已安装 | 已安装 |
218-584-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | 已安装 | 已安装 |
技术参数
X1 轴
测量范围: 200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 小于 200mm/s (CNC)
0 - 50mm/s (操纵杆)
测量速度: 0.02 - 2mm/s
移动方向: 向前／向后
直线度: 2μm/200mm
* 当X 轴在水平方向上
指示精度: ±(1+4L/200)μm,
(20° C 时) * L 为驱动长度(mm)
a 轴
倾斜角度: -45° 至 +10°
分辨率: 0.000225°
旋转速度: 1rpm
Z2 轴(立柱)
垂直行程: 300mm 或 500mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 小于200mm/s (CNC)
0 - 50mm/s (操纵杆)
Z1 轴 (检测器)
测量范围: ±25mm
分辨率: 0.2μm (CV-3000CNC),
0.05μm (CV-4000CNC)
检测方法: 线性编码器(CV-3000CNC),
激光全息测微计 (CV-40100CNC)
指示精度: ± (2+I4HI/100)μm (CV-3000CNC)
(20° C 时) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (CV-4000CNC)
*H 为水平位置上的测量高度 (mm)
测针上／下运作: 弧形运动
测针方向: 向上／向下
测力: 30mN
跟踪角度: 向上： 70°、向下：70°
(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)
测针针尖 半径：25μm、硬质合金针尖
基座尺寸(W x H): 750 x 600mm
基座材料: 花岗岩
重量: 240kg, 250kg (高立柱类型)
电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (限主机)
选件
防震台架
防震台装置: 膜片空气弹簧
自然频率 : 2.5-3.5Hz
减震机构 : 阻尼孔
调水平装置 : 带机械阀的自动控制装置
气源气压 : 390kPa
承载: 350kg
尺寸 (W x D x H) : 1000 x 895 x 715mm
重量: 280kg
Y 轴工作台装置
测量范围: 200mm
读数: 0.05μm
标尺装置: 反射型线性编码器
驱动速度: 200mm/s (CNC)
0 - 50mm/s (操纵杆)
承载能力: 20 kg
直线度: 0.5μm/200mm (表面粗糙度)
2μm/200mm (轮廓)
指示精度 (20° C 时) : ± (2+2L/100) μm, 轮廓模式 L 为两个
测量点之间的距离 (mm)
工作台尺寸: 200 x 200mm
尺寸 (W x D x H): 320 x 646 x 105mm
重量: 35kg
*产品信息仅供参考，型号和技术参数生产厂家有可能随时更改
