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SRBZ1440A洁净机器人

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新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)成立于2000年,隶属,是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地,新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步,以的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳,在上海设有国际总部,在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时,新松积极布局国际市场,在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司,现拥有4000余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。作为中国机器人产业头雁,新松已创造了百余项一。成功研制了具有自主知识产权的工业机器人、协作机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人五大系列百余种产品,面向智能工厂、智能装备、智能物流、半导体装备、智能交通,形成产业方向,致力于打造数字化物联新模式。产品累计出口30多个国家和地区,为3000余家国际企业提供产业升级服务。新松紧抓新一轮科技革命和产业变革契机,发挥人工智能技术的赋能效应,以工业互联网、大数据、云计算、5G网络等新一代科技推动机器人产业平台化发展,打造集创新链、产业链、金融链、人才链于一体的生态体系。聚焦核心技术,共享智能时代。智慧新松,未来!
工业机器人
采用磁流体密封技术,网络化控制系统,具有*的防碰撞保护功能及动态纠偏功能,拥有SEMI认证,MCBF大于1000万次,同时具备超高洁净度,耐高温、耐腐蚀,负载能力强等特点。满足个性化设计支持用户定制,负载、手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。是大负载真空机械手的*之选。
SRBZ1440A洁净机器人 产品信息

大负载真空机械手, LED芯片制造领域的真空机械手产品,主要用于LED芯片制造过程中,实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传送,具有真空度高,负载大,传输效率高,耐高温等特点,大大提高了LED芯片生产制造的良率和效率,是LED芯片制造装备的关键产品。传统的LED芯片制造采用集成电路制造制程应用的真空机械手,其负载能力只有1kg。本产品在集成电路制造用真空机械手的基础上,针对其大负载需求,创新了其传输结构和控制规律,使其能够达到20.5kg的负载能力,同时保持很小的占用体积,保持高耐真空度及洁净等级。


更多详情,请单击新松洁净产品资料库


结构形式Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
驱动方式Driving method伺服电机Servo Motor
手数量Number of Arm单臂Single Arm
负载Payload名称name托盘Tray
直径diameterΦ710mm
重量weight≤10.5kg
自由度数DOF3
手臂长度Arm Length355mm

手指长度(安装中心至硅片中心)

Finger length(distance from install center to wafer center)
765mm

运动范围

Moving Range
Z轴Z-axis

150mm

R轴,机械手旋转中心至工艺腔中心 R-axis, robot center to process chamber center极限(Ultimate)1440mm
θ轴θ-axis无限回转Infinite Rotation

全行程最小时间

Minimum running time
Z轴Z-axis1s/35mm
R轴R-axis5s/伸出或缩回Extend or Retraction
θ轴θ-axis5s/180°

重复定位精度

Repeatability
θ轴(°)θ-Axis±0.01(3σ)
R轴(mm)R-Axis±0.1(3σ)

机械手带φ710mm负载后最小回转直径

Robot minimum turning diameter with Φ 710 mm load
1530mm

伸出1440mm负载直径710mm最前端下垂量

The front sag of robot which out of 1440mm with Φ 710 mm load
5.5mm
重复定位精度Repeatability±0.2mm
耐真空度Base Pressure (Pa)10­-6Pa
重量Weight机械手本体Main-body100kg
控制器Controller15kg
碰撞保护Collision Protect Function

盘片和机械手无损伤/工位需重新校准
Disc and robot without damage/need to recalibrate position



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