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大气机械手Blade-S175-Ex

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新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)成立于2000年,隶属,是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地,新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步,以的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳,在上海设有国际总部,在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时,新松积极布局国际市场,在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司,现拥有4000余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。作为中国机器人产业头雁,新松已创造了百余项一。成功研制了具有自主知识产权的工业机器人、协作机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人五大系列百余种产品,面向智能工厂、智能装备、智能物流、半导体装备、智能交通,形成产业方向,致力于打造数字化物联新模式。产品累计出口30多个国家和地区,为3000余家国际企业提供产业升级服务。新松紧抓新一轮科技革命和产业变革契机,发挥人工智能技术的赋能效应,以工业互联网、大数据、云计算、5G网络等新一代科技推动机器人产业平台化发展,打造集创新链、产业链、金融链、人才链于一体的生态体系。聚焦核心技术,共享智能时代。智慧新松,未来!
工业机器人
高洁净等级,高精度,高速传片,耐腐蚀,碰撞保护,Mapping功能,SEMI认证,提供接口及末端定制
大气机械手Blade-S175-Ex 产品信息

大气机械手广泛用于硅晶圆以及LED蓝宝石基片搬运。手臂采用*的结构加强了手臂的刚性,并有效抑制振动,轻量化设计满足高速要求。本体的制造工艺改进有效降低成本,提升市场竞争力。材料、加工以及表面处理多方面优选,以实现高洁净度。具有多重安全保护功能。肘部和腕部灵活控制,使得机器人可以采用任意姿势来取放晶圆,更节省空间,适应性更强。是半导体行业的优势之选。

参数:

结构形式Mechanical Structure

柱坐标型/SCARA

Cylindrical Coordinate/SCARA

负载Payload

名称name

晶圆wafer

直径diameter

Φ200mm/Φ300mm

重量weight

0.5kg

自由度数DOF

3

回转直径Maximum Swing diameter

505mm

运动范围

Moving Range

升降轴 (Z)

Up/Down(Z)-Axis

960mm

回转轴 (T)

Rotational(T)-Axis

340°

伸展轴 (R)

Extension(R)-Axis

645mm

速度

Maximum Moving Speed

升降轴 (Z)

Up/Down( Z)-Axis

400mm/s

回转轴 (T)

Rotational(T)-Axis

180°/s

伸展轴 (R)

Extension(Z)-Axis

0.8sHome to Fullextension

重复定位精度

Repeatability

升降轴 (Z)

Up/Down( Z)-Axis

±0.1 mm(3σ)

回转轴 (T)

Rotational(T)-Axis

±0.01°(3σ)

伸展轴 (R)

Extension(Z)-Axis

±0.1 mm(3σ)

洁净度Clean Class

ISO CLASS 4

主机重量Body Weight

90 kg

电源Power Supply

VAC 220V±10%

行程

618mm


关键词:机械手
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