3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂特点： |
超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列 |
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运 |
全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求 |
比MHR系列具有更好的性价比优势 |
机械手臂标准臂长:160mm, 200mm |
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式 |
配备动作监视器 |
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 |
全轴采用值编码器规格的AC伺服电机 |
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 |
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式 |
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 |
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供的手指 |
3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂基本参数： |
使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
手臂 | 单臂 |
到达距离 | 400mm (手臂第3关节中心到达距离) |
升降轴行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
可搬运质量 | 4kg (手臂第3关节处基准) |
如需详细产品参数 请联系我们
