FPM
(Fluoro Carbon Rubber) 分子内含氟之橡胶,依氟含量 ( 即单体构造 ) 而有各式类型。耐高温性比硅橡胶优,有比较好的耐化学、耐大部分油及溶剂 ( 酮、酯类除外 ) 、耐候性及耐臭氧性;耐寒性则较一般,一般使用温度范围为 -20~250 ℃。部分配方可耐低温至 -40 ℃。
优点:
· 可抗热至 250 ℃
· 对于大部份油品及溶剂都具有抗性的能力,尤在酸类、脂族烃、芳香烃及动植物油
缺点:
· 不建议使用于酮类,低分子量的酯类及含硝的混合物。
· 汽车、机车、柴油发动机及燃料系统。
适用范围:
· 化工厂的密封件。
(Perfluoroelastomer) 优点:
· 耐热特性
· 化学特性
· 低Outgassing 特性
· 抗Plasma特性
适用范围:
· 全氟系列产品地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各式高真空密封制程。