核心参数
质量分辨率0.5 amu
质量分析范围1000 amu
原始束流或速能量25KeV
仪器种类四极杆
产品介绍
仪器简介：
1. 适合做多层薄膜的深度分析。
2. 很好的、耐用的、普通目的的二次离子质谱仪。
3. 方便使用。
4. 样品可以手动转换，由于分析速度快所以每天可以分析一定数量的样品。
5. 我们的系统可配置快速原子枪，使我们可以轻松处理绝缘的样品。
6. 我们还可以做元素成像（就象化学地图）和混合模式扫描，自动测量正、负和中性粒子。
7. 我们的系统是典型的超高真空工作台，很容易满足很多其它分析的使用。
结构紧凑，但不损失性能。真正的高性价比。
技术参数：
质量数范围：300，510或1000amu
分辨率：5%的谷，两个相连的等高峰。
检测器：离子计数检测器，正、负离子检测
检测限：1:10E7
质量过滤器：三级过滤四极杆（9mm杆）
主离子枪： A，氧离子或其它气体，能量到5KeV
B，Ga离子枪，能量25KeV（选配）
空间分辨率：A：100～150um
B: 50nm
取样深度：2个单分子层（静态）
不受限制（动态）
主要特点：
? 高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围
? SIMS 成像，分辨率在微米以下
? 光栅控制，增强深度分析能力
? 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输
? 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至1000amu
? 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
? Penning规和互锁装置可提供过压保护
? 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制
