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磁悬浮分子泵 HiPace 300-800M, ATH 500 M

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伯东公司成立于1953 年,范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司()主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市:北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。上海伯东代理品牌包含:德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机,美国HVA 真空阀门,美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机,离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。上海伯东作为国际真空品牌代理商,全权负责在中国地区的销售和维修服务,99% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师;拥有的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。
冲击试验箱,交变试验箱,水浴,油浴
磁悬浮分子泵 HiPace 300-800M, ATH 500 M
磁悬浮分子泵 HiPace 300-800M, ATH 500 M 产品信息

Pfeiffer 普发磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M, ATH 500 M
上海伯东德国 Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M, ATH 500 M: 抽速范围在 300-800l/s 的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵. HiPace M 和 ATH 500 M 拥有5轴磁轴承. 动平衡装置会进行自动校准, Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵可以最小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移. 低能耗和极低的维护成本确保了其的性价比.

Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M, ATH 500 M产品优点
1. 磁悬浮涡轮分子泵任意角度安装
2. 集成控制器
3. 清洁无油
4. 高气体流量
5. 低震动及低磁场干扰
6. 磁悬浮涡轮分子泵动平衡自动补偿
7. 转速范围大
Pfeiffer 分子泵
Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M, ATH 500 M 技术参数

分子泵型号

分子泵连接尺寸 DN

抽速 l/s

压缩比

启动压强hPa

极限压力

全转速气体流量hPa l/s

启动时间

重量

进气口

排气口

氮气
N2

氦气He

氢气 H2

氮气
N2

氮气N2

hPa

氮气N2

min

kg

HiPace 300 M

100

16

255

215

170

> 1X1011

20

< 1X10–7

28

2

13.1 – 17.2

ATH 500 M

ATH 500 MT

160

25

550

390

190

> 2X107

2.6

< 1X10–8

67

2

17 – 18

HiPace 700 M

160

25

685

600

480

> 1X101

8

< 1X10–7

13

4

15.7 – 20.8

HiPace 800 M

200

25

790

625

500

> 1X101

8

< 1X10–7

13

4

17.1 – 21.5


上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速 90,000 rpm, 极限真空 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>

若您需要进一步的了解分子泵详细信息, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐 中国台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
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关键词:控制器
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