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涡轮分子泵应用于 PVD 镀膜设备

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伯东公司成立于1953 年,范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司()主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市:北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。上海伯东代理品牌包含:德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机,美国HVA 真空阀门,美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机,离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。上海伯东作为国际真空品牌代理商,全权负责在中国地区的销售和维修服务,99% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师;拥有的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。
冲击试验箱,交变试验箱,水浴,油浴
涡轮分子泵应用于 PVD 镀膜设备
涡轮分子泵应用于 PVD 镀膜设备 产品信息

涡轮分子泵应用于 PVD 镀膜设备
PVD 即物理气相沉积, 是当前国际上广泛应用的的表面处理技术, 在真空条件下, 利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化, 在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基材上. 它具有沉积速度快和表面清洁的特点, 特别具有膜层附着力强, 绕性好, 可镀材料广泛等优点. PVD镀膜技术广泛应用于各类产品加工制造.

PVD 镀膜设备需要清洁的高真空
由于目前对真空镀膜设备的清洁度, 镀膜层的质量, 所用材料等要求的不断提高, 传统的以油扩散泵为主的真空系统因油蒸汽污染的原因, 已经无法满足使用要求. 因此, 以分子泵为主的无油真空镀膜系统已逐渐成为市场的主流. 上海伯东普发 Pfeiffer 分子泵依靠自身过硬技术在分子泵领域一直处于主导地位.根据客户实际需要, 成功和国际,国内镀膜涂层设备制造商长期合作.

上海伯东 PVD 镀膜设备客户案例一: 某真空技术公司汽车活塞环镀膜机, 硬质涂层
每个系统配置2台涡轮分子泵 Hipace 2300
pfeiffer 普发涡轮分子泵PVD镀膜设备应用

上海伯东 PVD 镀膜设备客户案例二: 欧洲 platit 工具镀膜, 主要使用德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 系列
前级泵配备干式真空泵 Pfeiffer 普发隔膜泵 MVP 系列
pfeiffer 普发涡轮分子泵PVD镀膜设备应用

上海伯东 PVD 镀膜设备客户案例三:某生产夜视镜(多碱金属镀膜)企业
主要使用 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 400

Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速 90,000 rpm, 极限真空 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵干泵共同使用. 更多分子泵典型应用 >>

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