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涡轮分子泵 HiPace 60P

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伯东公司成立于1953 年,范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司()主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市:北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。上海伯东代理品牌包含:德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机,美国HVA 真空阀门,美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机,离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。上海伯东作为国际真空品牌代理商,全权负责在中国地区的销售和维修服务,99% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师;拥有的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。
冲击试验箱,交变试验箱,水浴,油浴
涡轮分子泵 HiPace 60P
涡轮分子泵 HiPace 60P 产品信息

Pfeiffer 普发分子泵 HiPace 60P
上海伯东代理德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 60P 抽速可达到 64 l/s. 分子泵 HiPace 60P 集成氮气吹扫阀, 耐粉尘, 特别适合工业环境, 无 Holweck-stage, 通过保护等级 IP54. 集成控制器 TC 110 保证分子泵的安全性. 涡轮分子泵 HiPace 60P 可以安装在任何方向, 自然水冷或风冷.

分子泵 HiPace 60P 技术参数:

型号

HiPace® 60 P,TC 110, DN 63 ISO-K

HiPace® 60 P,TC 110 RS,DN 63 ISO-K

分子泵图片

复合轴承

陶瓷球轴承

Ar 压缩比

2 X106

H2 压缩比

2 X102

He 压缩比

3.5 X103

N2 压缩比

1 X106

标准冷却

对流

可选冷却

风冷, 水冷

冷却水消耗

75 l/h

冷却水温度

5-25 °C

电子驱动

TC 110

TC 110 RS

进气法兰

DN 63 ISO-K

排气法兰

DN 16 ISO-KF, G ¼"

预抽真空, N2

4 hPa

全转速时气体流量, Ar

0.83 hPa l/s

全转速时气体流量, H2

55 hPa l/s

全转速时气体流量, He

55 hPa l/s

全转速时气体流量, N2

9.2 hPa l/s

通讯接口

RS-485, Remote

安装方式

任意位置安装

操作电压

24 (± 5 %) V DC

允许磁场

4 mT

保护类型

IP 54

抽速 Ar

63 l/s

抽速 H2

28 l/s

抽速 He

48 l/s

抽速 N2

64 l/s

转速 ± 2 %

90,000 rpm

启动时间

1.1 min

1 min

极限真空

< 1X10-6 hPa

放气接口

G 1/8"

重量

2.2 kg

2.3 kg

分子泵资料下载

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英文 PDF

分子泵应用 HiPace 60P: 专为抽气环境含小颗粒悬浮物设计研发, 的耐粉尘设计, 广泛应用于镀膜和工业领域.
镀膜: 光伏, CD / DVD / PVD
研发: 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造

涡轮分子泵 HiPace 60P 对不同气体抽速


涡轮分子泵 HiPace 60P 尺寸图

Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 60P 目前在售型号
分子泵 HiPace 60 P TC 110 DN 63 ISO-K
分子泵 HiPace 60 P TC 110 RS DN 63 ISO-K

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上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速 90,000 rpm, 极限真空 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>

若您需要进一步的了解分子泵详细信息, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶小姐 中国台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
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