Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 2800 IT
上海伯东德国 Pfeiffer 新推出离子注入系统专用涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT.
在离子注入系统中, 氢气等小分子气体的抽速非常重要, 此款涡轮分子泵精巧的转子设计保证小分子气体的抽速, 确保了针对离子注入工艺的工艺适应性, 涡轮分子泵 HiPace 2800 IT 针对氢气抽速高达 2600 l / s, 是同级别分子泵中.
涡轮分子泵 HiPace 2800 IT 采用智能温度管理系统, 减少泵系统内部的工艺冷凝和沉积, 该系统允许单独设置温度, 确保涡轮分子泵能够地适应工艺需求. 镀镍转子确保泵本身耐用性.
涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 产品优势
1. 氢气抽速高达 2600 l / s
2. 镀镍转子更耐用
3. 采用智能温度管理系统,能自适应工艺条件, 减少泵内冷凝和沉积
4. 使用寿命更长
涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 技术参数
| 法兰（进气端） | DN 250 ISO-F |
| 法兰（出气端） | DN 40 ISO-KF |
| 排气连接 | G 1/8“ |
| 氮气抽速 | 2,300 l/s |
| 氩气抽速 | 2,100 l/s |
| 氦气抽速 | 2,900 l/s |
| 氢气抽速 | 2,600 l/s |
| 转速 | ±2 % 27,300 rpm |
| 运行时间 | 8.6 min |
| 在全转速情况下的氮气气流量 | 16 hPa l/s |
| 在全转速情况下的氩气气流量 | 11 hPa l/s |
| 在全转速情况下的氢气气流量 | 50 hPa l/s |
| 在全转速情况下的氦气气流量 | 24 hPa l/s |
| 氮气压缩比 | > 1X108 |
| 氩气压缩比 | > 1X108 |
| 氦气压缩比 | 6X104 |
| 氢气压缩比 | 4X103 |
| 氮气前级真空 | 0.8 hPa |
| 根据 PNEUROP 的极限压力 | < 1X10-7 hPa |
| 重量 | 62 kg |
| 冷却方法 | 水 |
| 冷却水耗量 | 100 l/h |
| 冷却水温度 | 15 – 25 °C |
| 接口 | E74, RS-485 |
| 允许磁场 | 3.4 mT |
| 声压水平 | < 50 dB(A) |
涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 适用领域: 离子注入机, 苛刻工艺
涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT尺寸
涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 在售型号
| 型号 | 订货号 |
| HiPace 2800 IT | PM P05 241 |
| HiPace 2800 IUT | PM P05 246 |
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