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SemiChem 在线浓度监测仪

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奥法美嘉(Alpharmaca)科技有限公司于2010年在上海成立,立足于医药行业,耕耘于纳米科学材料,化工,半导体,环境科学,汽车,过滤,涂料,墨水,油品等行业,以专业的纳米微米检测技术,“致力粒度分析,专注客户体验"。这已经成为奥法美嘉团队的信条。借助于20多年的行业积累和技术储备,奥法美嘉将世界上处于技术前沿地位的美国PSS粒度仪公司的激光粒度仪引入到中国市场,秉承着“传授粒度真知"“普及粒度知识"的理念,伴随着纳米知识的普及,伴随着中国经济向制造业的转型,经过短短几年,奥法美嘉科技有限公司作为美国PSS粒度仪公司在中国的代表,从COE的建立运营,到如今覆盖全中国销售网络和售后服务网络,不仅用真诚的态度,而且用务实的专业知识,获得了广大客户的*好评。Particle Solutions srl(意大利PSI均质机公司)位于意大利海滨工业城镇拉齐奥地区,毗邻历史悠久的古城罗马,由从事粒度相关领域内杰出的欧洲科学家以及工程师所组成的团队发起创立。公司团队拥有25年粒度检测知识积累,15年仪器工业设计经验,15年高压均质技术经验及应用研究。通过深入发掘客户需求和应用难点,PSI团队研发出了新型高压微射流均质机,其稳定可控的均质压力及高剪切力保证了工艺可线性放大且可保证大产量需求,低噪音的设计理念可大大减缓传统工艺中的高噪音对于操作人员的不利影响,小巧紧凑的机身设计可以*适应从实验室研发到中试及大生产的各种工作场景。自组建以来,团队累积了大量医药,生物,半导体,新材料等行业的相关应用经验。现奥法美嘉综合PSS粒度仪和PSI均质机,为中国制造业提供纳米技术领域内从生产研发设备到检测仪器的整套解决方案。
沉降粒度仪
简要描述:我们的 SemiChem Advanced Process Monitor(SemiChem 在线浓度监测仪)是集自动取样、分析和报告关键过程的定量化学浓度的化学监测系统。全面的在线化学监测可实时校正浆料成分,从而稳定控制工艺生产条件。该系统可提供分类化学浓度数据。当立即显现时,可以快速纠正可能对产品质量产生负面影响的变化,有助于满足更高产品产量的要求。
SemiChem 在线浓度监测仪 产品信息
详情介绍

SemiChem 在线浓度监测仪

Entegris在设计和生产用于半导体制造工艺中的化学机械平坦化(CMP)浆料和配方清洁化学品的高精度分析仪器的有丰富的经验。我们的技术旨在确保复杂混合化学品的精确一致性,并在 CMP和配方清洁工艺中实现高产量。


我们的 SemiChem Advanced Process Monitor SemiChem 在线浓度监测仪)是集自动取样、分析和报告关键过程的定量化学浓度的化学监测系统。全面的在线化学监测可实时校正浆料成分,从而稳定控制工艺生产条件。该系统可提供分类化学浓度数据。当立即显现时,可以快速纠正可能对产品质量产生负面影响的变化,有助于满足更高产品产量的要求。


应用领域

在范围内,我们安装了近3000套SemiChem APM系统,用于控制金属 CMP 浓度。它是控制CMP过氧化物的可靠的中心工具,并被证明在微电子环境中的所有湿化学应用中都具有较好的性能,包括:

·铜,钨,阻挡层和金属CMP

·制定清洁

·DSP+

·湿法蚀刻,氮化物蚀刻

·平底蚀刻,食人鱼蚀刻

·高频

·废水


功能与特点


经验证的标准电化学技术提供行业精确的监控,以保证过程化学成分和完整性
提供化学浓度数据,使浆料/化学分配系统能够提供准确的化学浓度
在线的,接近实时检测的系检测挥发性化学物质的工艺偏差,防止产品质量损坏
将实验室技术过渡到在线,实现快速准确的在线控制
坚固耐用的工业设计维持至少8500小时平均工作时间
可经受严峻的工业环境




规格

分析方法电位测定法,标准加成法,光度测定法
电位测量的准确性* 显示值的±0.2%
标准添加的准确性* 显示值的±2.0%
电位测量精度* ±0.2%相对误差
标准添加精度* ±2.0%相对误差
测量时间>5分钟/次(取决于应用程序)
校准间隔 启动时**
样品消耗<5 mL/次
进样量0.05-5 mL(取决于应用)
进样温度93°C(200°F)
耗水量<1000 mL/分析
样品进样/排样<207 kPa(30 psi),0.5 L/min
1/4" OD扩口接头,1" FPT安全壳联轴器
去离子水138至276 kPa(20至40 psi)
2.0升/分钟
外径 1/4" 扩口接头
CDA414-552 kPa(60-80 psi)
1/4" 外径快速接头
排水工艺:3/4“NPT重力排水管机柜:1/2“NPT重力
电源110/220 VAC,50/60 Hz,1/0.5 A现场可切换
废气外径1 7/8" @ 17 CFM





























标准功能可选功能

·四个4-20 mA模拟输出

·八个可编程继电器

·以太网和RS232串行

·彩色触摸屏

·单个测量单元

·综合试剂储存

·单个采样点

·一个5 mL数字滴定管

·多传感器输入

·多个采样点

·额外的5 mL数字滴定管

·附加传感器

·安全联锁装置

·试剂微量检测















尺寸



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