真空计SATOVAC佐藤DW-60
真空计SATOVAC佐藤DW-60
SATOVAC佐藤真空计
日本的真空度标准(1次标准)是设置在产业技术综合研究所的光波干涉式标准气压计(大气压~102Pa,不确定度±0.7Pa),设置在该电子技术综合研究所的标准麦克劳德真空计(1.3~1.3×10-2Pa,不确定度±2%为基准。标准麦克劳德真空计的校准是针对日本真空协会委托的副标准电离真空计用球VS-1实施的,该校准后的真空计为2次标准(使用压力范围2.7×10-1~1.3×被称为10-4Pa,不确定度±3%,是可以使用也可靠的真空计。
通常将其作为标准使用,用于其他实用真空计的校准。关于校正法,在JISZ8750中进行了详细说明,在10-2Pa~10-7Pa附近的用途中,制造商使用VS-1进行校正的B-A真空计在市面上销售。如果用这样的方法校正灵敏度的话,实际使用的各个真空计的灵敏度将达到国家一次标准。当这样的体系建立时,它被评价为已经建立了可追溯性。
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