产品介绍
DV系列隔膜阀，膜片式硬密封结构，超低泄漏率；适用于超高纯度气体，半导体用（毒、腐）气体，满足超大规模集成电路的工艺气体要求。
主要部件材料
阀体 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022
密封垫 PCTFE
手柄 6063
工作条件
工作压力 真空至 300psig, 真空至 3000psig
爆破压力 低压 3000psig, 高压 9000psig
流量系数 1/4" 为 0.25 , 1/2" 为 0.35，1/2"HF 为 0.7
工作温度 低压 -10 ～ 60℃ , 高压 -10 ～ 40℃
内漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
产品特点
适合超高纯度气体应用
高低压两种阀型
Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022 材料膜片
每台阀门进行单独的氦质谱检测
