超紧凑的外形尺寸
快速的稳定时间< 150 ms
的重复性和精度
坚固的设计
高量程比< 1000:1
的长期稳定性
参数 | 单位 | 典型值 |
流量范围 | sccm | 0-15,000 |
外形尺寸 | mm | 50×52×22(质量流量控制器OEM模块) |
流量精度 | ±0.2 % F.S./±1 % O.R. 取较大值 | |
Repeatability | ±0.015 % F.S./±0.15 % O.R. 取较大值 | |
Resolution | % F.S. | 0.1 |
Remarks | 如您需要更为详细的资料,敬请查阅产品相关的技术规格书 |
Axetris质量流量技术被用于众多行业,广泛应用于气相色谱、泄露检测、热分析、质谱、镀膜技术、等离子技术以及其他众多的领域。
■ 分析仪器
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气相色谱分析 | 质谱分析 | 原子光谱分析 |
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元素分析 | 热值分析 | 生物反应器和发酵设备 |
■ 工业领域
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泄漏测试 | 薄膜镀层控制 | CO2激光切割 |
■ 医疗领域
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氧气混合设备 | 通风装置及呼吸设备控制 |