紧凑的质量流量控制器配有RS-485通讯接口,基于Axetris的铂金MEMS技术(MEMS:微电子机械系统)它提供了以下的优势。
·超紧凑的外形尺寸
·快速的稳定时间<150 ms
·的重复性和精度
·坚固的设计
·高量程比<1000:1
·的长期稳定性
它被推荐用于独立的应用和集成在工业,分析和医疗系统上的应用。
参数 | 单位 | 典型值 |
流量范围 | sccm | 20,50,100,250,1000,3000 |
目标气体 | N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2 | |
流量精度0-10% | % F.S | 0.2(250sccm,N2,4bara) |
流量精度10-99% | % O.R | 1(250sccm,N2,4bara) |
稳定时间 | ms | < 150 |
供电电压 | V | 24 |
数字量输入输出 | RS-485 全双工 |
Axetris质量流量技术被用于众多行业,广泛应用于气相色谱、泄露检测、热分析、质谱、镀膜技术、等离子技术以及其他众多的领域。
■ 分析仪器
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气相色谱分析 | 质谱分析 | 原子光谱分析 |
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元素分析 | 热值分析 | 生物反应器和发酵设备 |
■ 工业领域
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泄漏测试 | 薄膜镀层控制 | CO2激光切割 |
■ 医疗领域
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氧气混合设备 | 通风装置及呼吸设备控制 |