该热丝化学气相沉积设备主要用于CVD金刚石厚膜、CVD金刚石涂层、石墨烯、多晶硅薄膜、SiCN薄膜、氢化硅薄膜以及其他化学气相沉积薄膜材料的大批量生产，其特点如下：
1、采用大面积热丝阵列平行排布，沉积面积可达到200mm*200mm，并且厚度均匀一致；
2、采用逆变直流电源加热，电压输出稳定，稳定度优于0.1%，保证沉积表面温度波动小；
3、采用的机械制造技术和安全可靠的控制系统，其中基片台升降精度优于0.1mm，基片台旋转无级调速，流量计控制精度优于0.5%，保证设备长期稳定工作。
廊坊西波尔钻石技术有限公司（以下简称“西波尔”），是科创板上市企业北京沃尔德金刚石工具股份有限公司（688028.SH）的全资子公司，设立于2009年，注册在廊坊市大厂潮白河工业区，企业。 公司从事CVDD、PCD、PCBN等复合超硬材料、制品、刀片的研发、生产及销售，同时研制、生产和销售CVDD、PCD材料加工设备如抛光机、真空钎焊炉、热丝CVD金刚石生长炉等。 公司拥有自建的万余平米的现代化厂房和办公楼，拥有数十项。通过ISO9001：2015质量管理体系、ISO14001：2015环境管理体系、OHSAS 18001:2007职业健康安全管理体系认证。
钻石抛光机
该热丝化学气相沉积设备主要用于CVD金刚石厚膜、CVD金刚石涂层、石墨烯、多晶硅薄膜、SiCN薄膜、氢化硅薄膜以及其他化学气相沉积薄膜材料的大批量生产，其特点如下：1、采用大面积热丝阵列平行排布，沉积面积可达到200mm*200mm，并且厚度均匀一致
专业设备HF800 产品信息
该热丝化学气相沉积设备主要用于CVD金刚石厚膜、CVD金刚石涂层、石墨烯、多晶硅薄膜、SiCN薄膜、氢化硅薄膜以及其他化学气相沉积薄膜材料的大批量生产，其特点如下：
1、采用大面积热丝阵列平行排布，沉积面积可达到200mm*200mm，并且厚度均匀一致；
2、采用逆变直流电源加热，电压输出稳定，稳定度优于0.1%，保证沉积表面温度波动小；
3、采用的机械制造技术和安全可靠的控制系统，其中基片台升降精度优于0.1mm，基片台旋转无级调速，流量计控制精度优于0.5%，保证设备长期稳定工作。
关键词：流量计
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