1、主要特点
数字化系统协同设计、MEMS工艺制造
SiO2层绝缘隔离扩散硅敏感电桥
特殊功能结构和材料
适应高宽工作温度范围
适应与硅、玻璃兼容的介质环境
表压、绝压、差压类型齐全
覆盖低、中、高宽压力量程范围
小型化尺度适应发动机、风洞绝缘气、液体动态压力的“原位”或“亚原位”测
2 、主要性能技术指标
序号
项目
规格指标
备注
1
特殊种类
耐高温冲击
耐腐蚀
探针型
扁平型
2
压力类型
表压、绝压、
差压
基准压力量程
100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10Mpa、20MPa、30MPa、40MPa、60MPa、100MPa、
100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa
1*
量程过载能力
≥2倍基准量程（≤10MPa）； ≥1. 5倍基准量程（＞10MPa）； ≥1. 25倍基准量程（≥60MPa）
2*
3
桥路电阻
1～3kΩ
3～5kΩ
5
零点输出
≤ ±5mV
3*
6
满量程输出
＞50 mV（典型值）
3*
7
准确度
≤ ±0.25%FS （典型值）± 0.5%FS（值）
3*、4*
8
灵敏度对称性
≤ ±0.3%FS（差压）
4*
固有频率
＞100kHz
＞10kHz
＞150kHz
9
工作温度范围
-55℃～+540℃
-55℃～+180℃
-55℃～+235℃
-55℃～+273℃
5*、1*
10
热零点漂移
≤ 1.5%FS/55℃
5*、6*
11
热灵敏度漂移
≤1.5%F.S /55℃
5*、6*
12
短期稳定性
≤±0.03%FS/8h
3*
13
长期稳定
＜±0.1%FS/年
14
激励电源
恒流1～1.5mA,或恒压5V～10V
15
电气连接形式
4缆线
16
典型接口尺寸
M5×0.8（mm）
≤Φ20（mm）
≤Φ2（mm）
≤2 ×2、≤Φ3（mm）
7*、1*
注：1*. 可用户定制； 2*. 100MPa量程过载为本量程上限；
3*. 5VDC恒压激励，恒温25℃； 4*. 非线性算法为最小二乘法；
5*.外无源补偿后的热漂移; 6*. 55℃温区为-30～25℃或25～80℃；
注：可提供定制服务，如有需求请与营销人员联系。
