● 超高的加工精度
● 斜裂方向检测，防止误切割
● 多焦点切割，裂片直线度好，极小的斜裂角
● 侧壁光滑，产品电测性能好
● 适应4-8寸Mini LED晶圆
● 运行稳定， 便于维修
| 项目 | 技术参数 |
| 设备型号 | G6002 |
| 激光器 | 1064nm 5W ≦10ps |
| 激光寿命 | ≧20000小时 |
| 平台精度 | 重复精度±0.5um，定位精度±1um@20℃±1℃ |
| 平台运行速度 | 运行速度800mm/s，速度1000mm/s |
| 平台运行加速度 | 运行加速度1.8G，加速度2.5G |
| 平台切割范围 | 300*300mm |
| 适应产品尺寸 | 4-8寸晶圆 |
| 适应材质 | 蓝宝石≦0.5mm、玻璃、石英≦1.2mm |
| 控制及软件 | LASER STUDIO，集成视觉、激光和运动 |
| 设备重量 | 2500kg |
