特点
- 机械手臂标准臂长：400 mm，500 mm
- Z轴（升降轴）标准长度：400 mm，500 mm，600 mm，760 mm，900 mm（Z轴超过760 mm以上为多段式，实物和照片的外观不同）
- 可搬运重量：手臂第3关节处基准15 kgf以下(400 mm，500 mm)
- 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
- 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用值编码器规格的AC伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
- 基板固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
- 手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 手指可以安装多种传感器（校准，有无，Mapping等）
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供优选的手指
可用于G4.5尺寸玻璃基板的搬运，双手臂结构，玻璃基板搬运效率更高
应用设备实例
AOI设备；液晶工厂内生产线
