产品|公司|采购|招标

网站帮助网站服务发布采购发布供应

半导体晶圆缺陷检测设备

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
产品标签:

在线询价收藏产品 点击查看联系电话
我们的愿景参与构建全联接、全感知、全智能世界,成为有影响力的科技企业。华工激光是中国激光工业化应用的、者,激光加工解决方案提供商。我们全面布局激光智能装备、量测与自动化产线、智慧工厂建设,为智能制造提供整体解决方案。我们深刻把握制造业发展趋势,不断丰富产品和解决方案,坚持探索自动化、信息化、智能化与制造业的融合,为各行业提供包括全功率系列的激光切割系统、激光焊接系统、激光打标系列、激光毛化成套设备、激光热处理系统、激光打孔机、激光器及各类配套器件、激光加工专用设备及等离子切割设备,及自动化产线、智慧工厂建设整体方案。华工激光积极投身现代工业浪潮,承担了多项激光领域国家重点项目和重大科技攻关项目,针对市场需求和应用场景,丰富“光制造”内核。我们将激光技术使能与物,促进物与物、人与物高效联接,实现无障碍的信息共享。服务科技创新,我们不断拓宽激光与智造的边界,打通行业壁垒,让激光技术和智造解决方案成为驱动人类生产、赋能社会服务的工具和理念。激光智造 聚焦一切可能从激光智能装备,到自动化产线、智慧工厂,为满足各领域、多场景客户实际需求,华工激光不断丰富产品和解决方案,延伸智能制造价值链,满足各领域客户实际需求,在3C电子、5G通信、钣金加工、新能源、机械制造、汽车制造、桥梁、轨道运输、医疗、日用消费品、家电、等多领域,持续拓展“激光+智造”服务空间。创新的华工激光工业化发展的动能,源自生产力变革的需求,也离不开前沿研究的。1971年,伴随着一个激光专业班的诞生,华工激光开启了近半个世纪的技术积淀。1971年,一个激光专业班诞生,华工激光开启了近半个世纪的技术积淀。五十年与中国激光发展同频共振,我们深知任何一门学科都需要经过实践的检验,任何一项成熟的技术和解决方案也必须经过市场的检验。在激光装备、自动化、智能制造等多领域,我们始终坚持技术突破、科技创新;从核心单元技术到系统解决方案,华工激光以深厚的技术积淀和前瞻的研究布局助力建设“智造”世界。用户至上的华工激光依靠前瞻性的工艺研究、全系列的产品体系、高效的交付响应和完善的售后体系,我们为您提供专业、及时的服务,充分满足您的生产需求。研发及中试基地:国内6万余平米的研发及中试基地,6大区域技术中心为您提供专业及时的工艺服务。生产基地:国内10万余平方米的智能制造生产基地,24小时*365天满足批量交付需求。大海外研发中心加拿大多伦多超快激光器研发中心,美国硅谷激光应用研发中心,德国汉堡智能制造研究中心,澳大利亚墨尔本高功率激光装备研发中心。全国销售网点:国内40+个办事处,海外30+销售服务中心,为您提供专业贴心的售前服务。走向世界的华工激光我们坚持开放包容、互惠共享的化战略,在国内外拥有完善的市场服务体系,国内设有办事处40余个,在美国、澳大利亚、印度、中国台湾、韩国、巴基斯坦、越南、菲律宾均设有销售和服务机构,在英国、德国、波兰、匈牙利、意大利、阿根廷等国家均配备完善的代理体系,可为客户提供专业、高效的服务。
打标机
面向半导体产业链中游晶圆生产企业、下游封装测试企业,采用独立开发的多通道明暗场并行检测系统,对半导体有图形晶圆、晶粒的外观缺陷进行检测。 检测精度 3 μm 镜头 显微镜头 整机尺寸(mm) 2000*1200*2250
半导体晶圆缺陷检测设备 产品信息
产品优势
  • 01
    可适用多种尺寸

    本设备可适用于4—8英寸有图形晶圆


  • 02
    可检测多种缺陷

    检测划伤、背崩、色差、开裂、划偏、金属残留、金属缺失等缺陷


  • 03
    高精度分辨

    系统分辨率:0.2-0.8μm


  • 04
    检测速度快

    有图形晶圆:缺陷数量在200个以内的情况下,15分钟/片


技术参数
项目主要技术参数
常规参数Wafer尺寸4" , 6"(带蓝膜铁框 )
料盒数量2 pcs
上下料方式机械手,  Mapping扫描
运动平台X行程200mm,重复精度10μm
Y行程45mm,重复精度10μm
Z行程15mm,重复精度5μm
产能4" , 25WPH    6" , 20WPH
检测性能检测精度3 μm
相机高分辨率工业相机
镜头显微镜头
光源光源
缺陷标记自动打点
使用环境供电规格AC220V,   50Hz
气源要求0 .5-0 .7Mpa压缩空气,  无明显水汽和油脂
设备重量温度15-40℃,  湿度要求30%-70%,  无凝霜
整机尺寸2000mm*1200mm*2250mm


样品展示
关键词:机械手
在找 半导体晶圆缺陷检测设备 产品的人还在看

对比栏

提示

×

*您想获取产品的资料:

以上可多选,勾选其他,可自行输入要求

个人信息:

对比栏

下载塑机通APP
让生意变得更容易!塑机通APP
微信公众号

微信公众号

客服部:122500707市场部:2976704939