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半导体封装真空等离子清洗机塑封前

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳深光达科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地深圳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2025/7/12 14:55:39
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我们注于等离子(PLASMA)清洗工艺技术和相关装备的研发生产,核心技术源自欧美二十年等离子体行业经验。公司核心团队来自中科院等离子体物理研究所、德国Diener、中国科学技术大学、北京大学等国内科研机构,其开发的等离子清洗装备已广泛应用于高校、半导体、汽车、电子行业、3C行业、印刷行业生物等行业域。深光达科技成立至已为清华大学、西安交通大学、比亚迪、兰州大学、深圳大学、香港大学、提供过等离子处理设备和解决方案, 我们将不断为材料表面处理开发创新方案,致力于为用户提供等离子表面处理与检测整体解决方案。深圳深光达科技有限公司深耕等离子技术域十余载,表面处理解决方案服务商。公司自主研发的真空、大气常压及微波等离子清洗设备,精准清洗与活化,设备连续运行稳定性达99.6%以上,通过ISO 9001/14001双体系认证。其低温真空等离子去胶机**在半导体封装环节实现每小时300片晶圆的量产处理,刻蚀均匀性误差<3%,助力客户良品率提升20%+。针对汽车内饰、医疗导管等复杂曲面,**常压旋转喷枪系统**可完成360°处理,表面张力值稳定提升至72mN/m以上。现已在富士康、比亚迪等200+企业产线中实现7×24小时不间断作业,设备MTBF突破8000小时,以航空品质重新定义工业清洗标准。主营产品有等离子清洗机,等离子去胶机,实验型真空等离子清洗机,真空等离子清洗机,低温等离子清洗机,大气等离子清洗机,等离子表面处理机,等离子刻蚀机,晶圆清洗机,反应离子刻蚀机,旋转型真空等离子处理仪,真空等离子清洗仪

 

 

等离子清洗机,等离子清洗器,实验型真空等离子清洗机,真空等离子清洗机,低温等离子清洗机,大气等离子清洗机,等离子表面处理机,等离子刻蚀机,晶圆清洗机,旋转型真空等离子处理仪,真空等离子清洗仪
VPS-RF120 真空等离子清洗设备是一款针对实验室需要专门开发的小型台式等离子清洗机,处理室为圆筒形石英玻璃,处理器为电容耦合外电极型,内部无电极。
半导体封装真空等离子清洗机塑封前 产品信息

VPS-RF120 真空等离子清洗设备简介:

VPS-RF120真空等离子清洗设备主要由真空腔体、高频等离子电源、真空产生及测量系统、工艺气体系统、控制系统等部分组成。工作基本原理是利用真空泵将工作室进行抽真空到一定的真空度后,通入工艺气体,在高频发生器作用下,在阳极和阴极之间形成高频交变电场,将气体进行电离,形成等离子体。当气体到达等离子状态时,气态分子会裂变成许多高度活跃的粒子。等离子清洗的机理正是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”,达到去除物体表面污渍或改善表面活性的目的。


   

VPS-RF120 真空等离子清洗设备


VPS-RF120 真空等离子清洗设备特点:欧美放电技术,专业型放电结构,科学仿真等离子体分布均匀,处理效果均匀

产品应用:去除表面有机物、表面油污清洗、提高表面亲水性、改善表面粘接性、提高表面附着力、提高绑定性能

       

产品参数:

型号

VPS-RF120

等离子频率

13.56MHz 自动阻抗匹配

工作真空度

10-100Pa

真空泵

油泵/干泵(可选)

功率

0-1000W可调

腔体材质

进口级316L不锈钢/航空铝合金(可选)

腔体尺寸

500(W)*500(D)*490(H)mm

腔体容积

120L

单层有效处理面积

450mm(W)*430mm(D)

气路数量

2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等(腐蚀性气体需定制)

处理层数

8层(可定制)

控制方式

PLC+触摸屏

电源

AC380V,50/60Hz

外形尺寸

950mm(L)×1100mm(W) ×1800 mm(H)


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