ES660 静电放电和闩锁测试系统
1. 描述
ES660 系列 静电放电和闩锁 (LU) 测试系统是一款多针自动测试设备，旨在满足现代半导体测试的严格要求。这款多功能设备旨在无缝支持人体模型 (HBM)、机器模型 (MM) 和闩锁测试，为评估集成电路 (IC) 和电子元件的可靠性和稳健性提供全面的解决方案。ES660为ES612A系列的升级版，有更高的配置选择。
ES660-P1 配置支持多达1280个引脚， 非常适合测试具有大量连接的复杂 IC 和电子元件。其高引脚数容量可确保准确高效地评估大型设备，从而缩短测试时间并提高生产率。
若需求更高的引脚数，ES660-P1配置可以升级为ES660-P2 (最多2560引脚)。
2. 特征
兼容多种测试方法和标准
高度灵活的偏置和引脚数配置能力
自动化测试效率
拥有先进的控制和监控
泄漏和直流扫描
数据分析
多放电头，软件自动切换
3. 应用
半导体器件 ESD 测试
HBM 模块符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 、 MIL-STD-883E、AEC Q100-002
MM模块符合ANSI/ESDA SP5.2
闩锁测试符合JEDEC JESD78
瞬态闩锁符合 ANSI/ESD SP5.4.1
4. 规格
ES660基础单元
| 参数 | ES660 | 单位 | 备注 |
| 触摸屏 | 5 | inch | |
| 尺寸 | 480 X 497.5 X 265 | mm | |
| 重量 | 28 | kg | 完整安装 |
| ESD 和 LU 波形 | 可选无源电压和电流探头 | ||
| 支持的示波器 | Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型号 | 可定制 | |
| 支持的 SMU | Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型号 | 可定制 | |
| 支持的电源 | Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型号 | 可定制 |
HBM 人体模型选项
（ANSI/ESDA/JEDEC JS-001）
| 参数 | ES660-P1-HBM8 | ES660-P1-HBM10 | 单位 | 备注 |
| 输出电压 | ±10～8000 | ±10～10000 | V | |
| 放电RC值 | C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1% | |||
| 短路负载峰值电流Ips | 0.67 ± 10 % 每 kV | A | ||
| 短路负载上升时间trs | 2 < trs < 10 | ns | ||
| 短路负载衰减时间tds | 130 < tds < 170 | ns | ||
| 短路振铃trs | < Ips 的15% | |||
| 500Ω负载峰值电流Ipr | Ipr/Ips ≥ 63% | |||
| 500Ω负载上升时间trr | 5 < trr < 25 | ns | ||
| 最快脉冲速度 | 10 | 个/秒 | ||
| 同时脉冲数目 | >=8 | 512引脚以上 | ||
MM机型选项
（ANSI/ESD SP5.2）
| 参数 | ES660-P1-MM2 | ES660-P1-MM4 | 单位 | 备注 |
| 输出电压 | ±10 ~ 2000 | ±10 ~ 4000 | V | |
| 放电RC值 | C: 200 pF, R: 0 Ω | |||
| 短路负载峰值电流Ip1 | 1.75±10% 每 100V | |||
| 短路负载Ip2 | Ip1的67% ~ 90% | |||
| 短路负载脉冲周期tpm | 66 < tpm < 90 | |||
| 500Ω负载峰值电流Ipr | 0.85 – 1.2 | @400 V条件符合标准 | ||
| 500Ω负载I100 | 0.23 – 0.4 | @400 V条件符合标准 | ||
| 最快脉冲速度 | 10 | 个/秒 | ||
| 同时脉冲数目 | >=8 | 512引脚以上 | ||
DC & 闩锁选项
（JEDEC JESD78F.01）
| 参数 | ES660-P1-LU | 备注 |
| 预处理向量 | 可≥ 20 MHz，256K 深度 | 外部设置 |
| V/I 4线开尔文测量 | 是 | |
| DUT V/I 总线电源 | 3+1、5+1、7+1 | 支持DC源外部扩展 |
| LU 波形捕获 | 是 | |
| 矩阵最大DC电压 | 200V | |
| SSR 矩阵最大DC电压 (V) | 100V | |
| 引脚最大DC电流 | 2A | |
| DC通道最大电流 | 15A | |
| 默认闩锁源最大电压 | >= 150V | 最大限流1.2 A |
| 默认闩锁源最大电流 | >= 10A | 最高电压6 V |
TLU 瞬态闩锁选项
（ANSI/ESD SP5.4.1）
计划闩锁瞬态脉冲源的硬件支持：
ES622 (TLP/ VF–TLP ), EOS -500 (EOS), LVS-500 (LVS), MM
5. 订购信息
| 编号 | 型号 | 描述 |
| 基本单元选项 | ||
| 1.1 | ES660-P1-BU | 基于继电器的 HBM/MM/LU ATE 系统基础单元 |
| 1.2 | ES660-P1-HBM8 | HBM模型测试选项，电压至8 kV |
| 1.3 | ES660-P1-HBM10 | HBM模型测试选项，电压至10 kV (停产) |
| 1.4 | ES660-P1-MM2 | MM模型测试选项，电压至 2 kV |
| 1.5 | ES660-P1-MM4 | MM模型测试选项，电压至4 kV (停产) |
| 1.6 | ES660-P1-LU | 闩锁测试选项（软件） |
| 1.7 | ES660-P1-TLU | 瞬态闩锁测试选项（软件 – TLP, EOS） |
| 1.8 | ES660-TFM | 温度控制模块 |
| 继电器卡及DC偏置选型 | ||
| 2.1 | ES660-P1-R64B4 | 扩展继电器卡，64引脚，3+1 偏置 |
| 2.2 | ES660-P1-R64B6 | 扩展继电器卡，64引脚，5+1偏置 |
| 2.3 | ES660-P1-R64B8 | 扩展继电器卡，64引脚，7+1偏置 |
| 直流、漏电和 闩锁 脉冲源选项 | ||
| 3.1 | ES660-PSMU2 | 漏电\DC\LU 源：双通道脉冲 SMU (210V/1.5A) |
| 3.2 | ES660-SMU1 | 漏电\直流源：单通道 SMU (200V/1A) |
| 3.3 | ES660-PSU1 | 直流电源： 灵活通道 PSU（ 32V/3A X 2 Ch + 6V/5A X 1 Ch 或 70V/3A X 1 Ch，或 32V/6A X 1 Ch + 6V/5A X 1 Ch） |
| 3.4 | ES660-PSU2 | 直流电源：3 通道 PSU（60V/3A X 2 Ch+5V/3A X 1 Ch，或125V/3A X 1 Ch） |
| 3.5 | ES660-PSU3 | 直流电源：高电流 PSU (20V/20A X 1 Ch ) |
| 3.6 | ES660-PSU4 | 直流电源：高电流PSU (30V/25A X 1 Ch) |
| 3.7 | ES660-PSU5 | 直流电源： 3通道 PSU (30V/6A X 2 Ch，5V/3A X 1 Ch，或 60V/6A X 1 Ch) |
| 3.8 | ES660-PSU7 | 直流电源： 双量程 PSU (100V/1A, 或 30V/5A) |
| 3.9 | ES660-PSU-MC1 | 多通道PSU: 主框架, 带示波器 |
| 3.10 | ES660-PSUC1 | 多通道PSU: 50V, 5A, 50W模块 |
| 3.11 | ES660-PSUC2 | 多通道PSU: 50V, 10A, 100W模块 |
| 3.12 | ES660-PSUC3 | 多通道PSU: 60V, 5A, 300W模块 |
| 3.13 | ES660-PSUC4 | 多通道PSU: 100V, 1A, 100W模块 |
| 3.14 | ES660-PSUC5 | 多通道PSU: 100V, 3A, 300W模块 |
| 3.15 | ES660-PSUC6 | 多通道PSU: 150V, 2A, 300W模块 |
| 测试插座选项 | ||
| 4.1 | ES660-P1-DS512 | DUT 插座 PCB 512 针 |
| 4.2 | ES660-P1-DS1024 | DUT 插座 PCB 1024 针 |
| 4.3 | ES660-P1-DSC1 | DUT 插座 PCB 定制引脚数 |
| 示波器选项 | ||
| 5.1 | MISC-OSC350 | 数字示波器（ 350 MHz， 4 通道） |
| 5.2 | MISC-OSC1 | Digital Oscilloscope (1 GHz, 5 GS/s, 4 Ch) |
| 5.3 | CT-T03-1p0 | 宽带电流探头，1V/A，2kHz – 2GHz |
注: 母板，矩阵卡，波形板和自校验诊断板属于设备的标准配置，因此不体现在订购信息中。
