产品名称:微位移测量激光干涉仪 角度摆动检测干涉仪 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
产品型号:ZLM800 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
产品产地:德国 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
制 造 商:德国耶拿尔测量技术有限公司 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
详细介绍: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪,主要用于微位移部件的测量,角度变化量的监测,移动平台运动情况的检测,及光刻机几何量的测量,数控机床几何量的测量,zui多可实现六轴联动。具有以下性能优势: l 真正意义上的双频激光干涉仪,两个光束的频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别。德国耶拿尔公司是为数不多的双频激光干涉仪的制造商,*双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。 l 全部部件皆在德国生产制造,绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜,是世界上*一家将*的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。 l 激光器寿命更长,可达20000小时,激光稳频精度高,一小时内为±0.002ppm,在产品寿命内可达±0.02ppm。 l 干涉镜采用差分干涉原理,系统精度更高,可达±0.4ppm。 l 计算机辅助光路调整,调整结果更准确。 l 采样频率更快,zui高达1MHz,可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。 l 被测物体zui大速度16m/s(可选);采用高精度AE950 PCI数据处理器,分辨率达0.6nm(当移动速度为1m/s时,线性分辨率更可高达为0.1nm)。 l 无加速度限制;当光线微弱时,性能也十分稳定。 l 信号延时<200ns;对电磁干扰不敏感。 l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量,ZLM800型是理想的选择。 技术参数
应用案例 以下是为*设计的ZLM800双频激光干涉仪两个应用案例。在*个案例中,用两个3轴角度干涉仪分别监视两个摆镜的摆动,实时测试两个摆镜对应量(俯仰、偏摆和位移)的差异情况。在第二个案例中,用一个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况,2个单轴位移干涉仪检测一个两轴位移平台的运动情况。 ![]() ![]() 以下是为国内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中,密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被监视目标Ⅰ、被监视目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量,以及这两个目标在Z方向的相对变化量。 ![]() ZLM800部分光路图示例和部件示意图 |
微位移测量激光干涉仪 角度摆动检测干涉仪
参考价 | 面议 |
- 公司名称上海贝丁汉工业自动化设备有限公司
- 品 牌
- 型 号
- 所 在 地上海市
- 厂商性质代理商
- 更新时间2018/4/21 5:27:20
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上海贝丁汉工业自动化设备有限公司——主要从事各种进口仪器仪表、机械设备、电子产品及其配件等的销售和技术服务工作。 为美国Hamar Laser Instruments Inc公司中国总代理,德国JENAer公司中国总代理和匈牙利CE Optics中国总代理。经营的主要产品包括激光直线度测量仪、激光平面度测量仪、激光平行度测量仪、激光垂直度测量仪、孔同轴度检测仪、主轴对中仪、孔对心轴对中检测仪、激光几何测量系统、双频激光干涉仪、多点温度测量仪、相位波前角色散测量仪、材料色散测量仪、载波包络相位调谐仪,及瑞士Soclair Electronic公司PT-100温度变送器、热电偶温度变送器、高精度电压信号转换器、高精度电流信号转换器、桥路信号转换器、频率变送器、模拟信号转频率模块等。
本公司的激光仪器主要为激光准直、对中、校正和系统检测。功能包括各种机械设备和部件的平面度检测、直线度检测、平行度检测、垂直度检测、孔的同轴度检测、车床和车削中心的主轴对中检测、联轴器和电机轴的对中校正检测等。广泛应用于机床加工中心几何量检测、航空航天设备的组装和工装的校正、船舶制造工业标线和艉轴管检测、汽车发动机同轴度、电厂汽轮机隔板同轴度、各种印刷造纸注塑设备辊轴的平行度的检测,及机床的定位、补偿和运动平台的微位移检测等。
信号转换器类仪表用于将各种重量、温度、压力、电压、电流和频率等信号转换为标准的工业控制信号,用于系统的集成和控制。广泛应用于机械和设备工程、汽车、仓储、输送、印刷、门控、化工、冶金、石油、电力、水利、钢铁、轻工、制药、造纸、制革、喷涂、水泥、玻璃、食品、陶瓷、化纤、塑料、饲料、煤炭、纺织、农业和包装等行业。欢迎您选购我们代理经销的各种产品,我们将以饱满的热情,周到的服务,客户*的原则,为您提供满意的产品和服务。
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