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等离子体增强化学气相沉积系统CVD
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2023-03-04 13:14:46
239
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其他
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北京市
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图片描述:
多功能电感耦合等离子体增强化学气相沉积系统(CVD)是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术,主要借助微波或射频的方法将目标气体进行电离,促进化学反应在较低的温度下进行,从而在基片上沉积出所期望的薄膜
图片来源:
https://www.86pla.com/chanpin/1894856.html
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