【简单介绍】
【详细说明】
金属反射镜或介质膜反射镜都可以作为导光反射镜,是激光雕刻切割机中的一大重要部分。对金属反射镜而言,只有铝适合作为高反射率材料。在激光雕刻切割机的使用中,作为激光设备在金属材料的加工,铝镜也有缺点就是它非常软,并且容易在经过一段时间后形成氧化铝层,又再一次吸收紫外光。如果铝镜和MgF2层一起镀膜,则可以获得在紫外区的高反射率,提高激光雕刻切割机中的高效,并且耐用性也得以提高。在193nm,反射率约80%.高质量的反射镜可以用介质镜获得。给出了高反射率介质反射镜的透过率曲线.
在UV区域,同样的困难再次出现,就是只有几种材料适合作镀膜材料。在200nm以下,高折射物质有Al203、SC203、Hf02低折射率物质MgF2和Si02是zui合适的材料。可获得的反射率达99.8%.
被经常应用的望远镜是两个正透镜的伽利略型望远镜。其共轭平面被设计到接近激光输出窗口(距离<lOOOmm)和均束器的出口孔径处。相对激光雕刻切割机而言,开普勒望远镜(正和负透镜)能被使用以节约空间。但它的缺点是共轭平面在无穷远处,并且没有孔径被成像(更精确,在出口处或靠近准分子激光谐振腔处的近场剖面)。
衰减准分子紫外激光切割机zui简单的方法是在光路中置入紫外透明的窗口。每个窗口存在近8%的损耗。使用几个窗口可以获得不同的可选的衰减量,但对获得大的衰减量,相对成本就比较昂贵。
较经济的方法是使用中性滤光片。包含金属镀层的中性滤光片,只能使用在低能量密度的情况下,因为金属中存在的紫外光吸收。
衰减片衬底当然使用对UV透明的材料。当金属镀层变化的时候,可以获得不同的滤光片透过率。在紫外区域,石英或GaF2衬底都可以使用。铝、金或镍镀层也可作为中性铝光片使用在紫外区,一般镀层厚度在几个纳米。
一个比较好的使用可变衰减的衰减方法是介质截止滤光片。截止滤光片,像介质反射镜,包含可变的r/4波长层,它有非常尖锐的在相应范围的传输截止线。
对于小衰减量:多片透光镜组合,每片的衰减量为8%;
中性滤光片:带镀层金属,适用于低功率密度光照衰减。衬底:石英,CaF2晶体。镀层:铝、金、镍。透光率随膜层厚度而变化,其厚度一般为几个纳米的量级。
角度衰减器:结构如同多层(即多层r/4波长交替)介质反射镜,具有截止滤光功能,随入射角度的不同透过率不同,具有很陡的透过率截止曲线。对248nm,在10度的时候透过率可达到90%;当入射角增加时,透射率较大幅度的减小。
破坏阈值:介质反射镜,在248nm,小于10J/cm2.金属紫外激光切割机反射镜和滤光镜在小于200mj/cm2下使用。破坏阈值也与镜片质量有关。随作用脉冲数的增加,破坏阈值将不同程度的减小。未镀膜基片的破坏阈值一般高于介质反射镜。