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成都中冷低温科技有限公司


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半导体冷水机低温冰水机Chiller

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产品型号

品       牌其他品牌

厂商性质经销商

所  在  地成都市

更新时间:2024-03-13 13:48:15浏览次数:314次

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产品简介

半导体冷水机低温冰水机Chiller ZL,本设备是一款水冷型冷水机,具有定时运转、液面下降、停电复归、水泵防冻结、可实现远程控制、可进行触摸屏操控等功能。

详细介绍

半导体冷水机低温冰水机Chiller

应用与半导体生产过程中及测试环节的温度控制,具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。


半导体冷水机低温冰水机Chiller

密闭循环系统

整个系统为全密闭系统,高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份,系统在运行中不会因为高温使压力上升,低温自动补充导热介质。

安全防护

具有自我诊断功能:相序断相保护器、冷冻机过载保护,高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。不用更换导热介质,而且不需要加压的情况下就可以实现-60℃~200℃连续控温。


半导体冷水机低温冰水机Chiller

应用于半导体行业蚀刻装置,CMP (工艺机械抛光),实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

温控精度(空载时)±0.05℃

触摸屏操作,人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小

占地面积小、保护装置

快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产

运行稳定、准确控温



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