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深圳市安川测量仪器有限公司
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产品简介： 产品信息 A-52-ST-P04D 桨式搅拌器晶圆电镀设备、振荡设备A-52-ST-P04D 桨式搅拌器是搅拌样品附近的装置，支持2～8英寸尺寸的单面电镀。双面和12英寸均按订单生产。特征提高电镀均匀性桨叶有效搅动样品表面，稳定扩散层并提高电镀均匀性。向孔状样品主动供给离子对于过孔、通孔、沟槽等孔状样品，通过搅拌向孔内抑制浓度过电压上升，消除空隙等缺陷。预期的。符合国际标准DU型和DW型符合IEC61010-1，带有CE标志，符合EN61326-1。
山本渡金晶圆电镀设备振荡设备 A-52-ST-P04D 桨式搅拌器
| 2英寸型 | 3.4英寸型 | 5.6英寸型 | 8寸型 | |
| 产品编号 | A-52-ST2-P04D | A-52-ST4-P04D | A-52-ST6-P04D | A-52-ST8-P04D |
| 水平行程 | 30-50毫米（*1） | 30-96毫米 | 30-150毫米 | |
| 外形尺寸（安装尺寸） | 210（深）×180（宽）×275（高）毫米 | 210（深）×180（宽）×290（高）毫米 | 290（深）×270（宽）×380（高）毫米 | 290（深）×270（宽）×470（高）毫米 |
| 体重 (*2) | 深：6.0公斤 杜、深宽：6.5公斤 | 深：6.0公斤 杜、深宽：6.5公斤 | 深:12.9kg DU,DW:13.4kg | 深：13.4kg DU，DW：13.9kg |
| 转数 | 0-130转/分 | |||
| 输入电压（*2） | D：AC100-120V / DU：AC100-120V / DW：AC200-240V | |||
| 额定输出 | 30W | |||
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