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美国ALICATPC/PCR压力控制器

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更新时间：2023-12-18 17:29:42浏览次数：374次

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班奈自动化仪表（上海）有限公司

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产品简介

美国ALICATPC/PCR压力控制器

详细介绍

表压 (相对于大气压): 0-2 inH2O(G) 至 0-500 psig (PC)或0-300 psig (PCR), 负压: -15 – 0 psig。*PCS/PCRS最小满量程: 0-1 psig
绝压 (相对于真空): 0-15 psia 至 0-500 psia (PC)或0-300 psia (PCR)。*PCS/PCRS最小满量程: 0-30 psia.
差压 (相对压力): 0-2 inH2O(D) 至 0-150 psid (PC/PCR)。*PCS/PCRS满量程范围: 0-1 psid 至 0-100 psid, 负压代表反向压差
标准通讯方式: RS-232数字通讯和0-5v模拟通讯
选配模拟通讯: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模拟输出信号可选
配通讯协议: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
通讯接口: 8针mini-DIN
选配通讯接口: 9针或15针D-sub接口, 可定制引脚分配
动态显示设定值、表压、绝压或差压
标准显示屏: 2.1″ 单色LCD数字式触摸显示屏
选配显示屏: 2.1″ 背光彩色TFT数字式触摸显示屏
有条件的终身质保
对撞击、潮湿环境、安装方向等不敏感
压力控制器 (电源需另行订购)
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作手册
压力控制器用于真空镀膜

结合您用得最顺手的真空计与艾里卡特PC-EXTSEN压力控制器，可打造的绝压控制方案用于真空沉积。质量流量控制器控制进入腔体的反应气体流量、PC-EXTSEN压力控制器稳定整个腔体压力。