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超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列 Regulus系列现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Re…
"Regulus系列" 现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100 "Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能,配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1,可以获得高稳定的束流。 通过优化电子光学系统,Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,观察性能与现有机型相比提高了20%左右。 此外,为充分发挥超高分辨的能力,放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。 *1 Regulus8240/8230/8220 特点 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的良好性能 与现有机型相比分辨率提高了20%左右 采用污染小、高真空样品仓 运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2 极低着陆电压下高分辨观察 样品:金颗粒 超高分辨观察 样品:Pt催化剂 低加速电压下高分辨EDX分析 样品:Sn球 *2 Regulus8240/8230/8220 规格 *3 减速模式下观察 *4 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率 Regulus SEM Layout
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能,通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理,帮助用户充分发挥仪器的良好性能。
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
着陆电压:10 V
加速电压:30 kV
着陆电压:1.5 kV
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