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上海奇穆实业有限公司总代理中国台湾DINO纯水药液PFA气动阀PFA阀门是一种用于半导体制造等高纯度流体工业的特殊阀门,主要由PFA材料制成,具有的耐化学腐蚀性和优异的密封性能
上海奇穆实业有限公司总代理中国台湾DINO纯水药液PFA气动阀
PFA阀门是一种用于半导体制造等高纯度流体工业的特殊阀门,主要由PFA材料制成,具有的耐化学腐蚀性和优异的密封性能。在PFA阀门中,气动隔膜阀作为其中一个重要的类型,在流体控制领域中被广泛应用。
PFA气动隔膜阀在高需求的半导体制造和其他高纯度液体处理过程中具有越来越重要的地位。它采用层压聚合物、四氟等材料制成的隔膜实现操作。气动隔膜阀可以快速开启和关闭,而且可以用于非常高的压力范围和流量控制。当气源送入气动阀充气腔时,隔膜将被推动,从而打开或关闭阀门,实现对流体的控制。
PFA气动隔膜阀相对于传统的金属阀门的优点在于:首先,PFA材料本身就是一种化学稳定性强的聚合物材料,对多数酸、碱及有机溶剂(如氯仿、硝酸等)的化学腐蚀极小;其次,PFA隔膜保证了阀门具有良好的密封性能,可以避免介质与阀门内壁接触而产生二次污染。
在半导体行业中,PFA阀门广泛应用于高纯度各种介质和腐蚀性介质的控制,例如制造中使用的超纯水、酸碱液体等。同时,在半导体工艺流程中,对清洗过程的要求非常高。半导体清洗阀门通常是采用无腐蚀、高温 PFA 材料制成。这种材料经受住强酸、强碱甚至是高温条件的考验,并且不会影响到系统中的微量器件。在清洗阀门中,特殊设计的密封系统可确保不会出现泄漏或二次污染,并且保持较长时间的使用寿命。除此之外,气动隔膜阀门在清洗过程中起到了关键的作用。
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