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专业设备HF800

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更新时间：2024-08-06 14:10:26浏览次数：83次

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廊坊西波尔钻石技术有限公司

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产品简介

该热丝化学气相沉积设备主要用于CVD金刚石厚膜、CVD金刚石涂层、石墨烯、多晶硅薄膜、SiCN薄膜、氢化硅薄膜以及其他化学气相沉积薄膜材料的大批量生产，其特点如下：1、采用大面积热丝阵列平行排布，沉积面积可达到200mm*200mm，并且厚度均匀一致

详细介绍

该热丝化学气相沉积设备主要用于CVD金刚石厚膜、CVD金刚石涂层、石墨烯、多晶硅薄膜、SiCN薄膜、氢化硅薄膜以及其他化学气相沉积薄膜材料的大批量生产，其特点如下：

1、采用大面积热丝阵列平行排布，沉积面积可达到200mm*200mm，并且厚度均匀一致；

2、采用逆变直流电源加热，电压输出稳定，稳定度优于0.1%，保证沉积表面温度波动小；

3、采用的机械制造技术和安全可靠的控制系统，其中基片台升降精度优于0.1mm，基片台旋转无级调速，流量计控制精度优于0.5%，保证设备长期稳定工作。

关键词：流量计

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