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离子束抛光机IFS1000-600B

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更新时间：2024-08-06 14:10:39浏览次数：306次

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长沙埃福思科技有限公司

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产品简介

离子束抛光机IFS1000-600B

详细介绍

_{离子束抛光}离子束抛光机IFS1000-600B技术参数_{离子束抛光}

名称	参数
加工能力（工件尺寸）	大腔1000mm×600mm 小腔300mm×300mm
X轴行程	≥1000mm
Y轴行程	≥600mm
Z1轴行程	≥300mm
Z2轴行程	≥300mm
离子源	美国Veeco HC 5cm / 德国射频源
工作真空建立时间	≤1 hours
副室真空建立时间	≤15 min
X轴运动速度	5m/min
Y轴运动速度	5m/min
Z轴运动速度	3m/min
运动轴重复定位精度	≤±0.01mm
保护功能	具备意外断电、断水、断气故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等
智能功能	具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
外形尺寸	长宽高：3.8×3.2×2.6m
整机重量	9吨
能耗功率	Max:18KW Avg:7KW