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离子束抛光机IFS1300C

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更新时间：2024-08-06 14:12:01浏览次数：176次

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长沙埃福思科技有限公司

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产品简介

离子束抛光机IFS1300C

详细介绍

_{离子束抛光}离子束抛光机IFS1300C技术参数_{离子束抛光}

名称	参数
加工能力（工件尺寸）	1300mm×1300mm 厚度300mm
X轴行程	≥1300mm
Y轴行程	≥1300mm
Z轴行程	≥300mm
A轴行程	A≥60°
离子源	德国射频离子源
中和器	德国
束电压	2000V
束电流	1000mA
束流密度测量	法拉第杯/探针
阴极Tip寿命	150-1000 hours
去除函数	高斯型、稳定性≥95%
工作真空	5×10^-³pa
工作真空建立时间	≤1.5 hours
副室真空建立时间	≤30 min
X轴运动速度	8m/min
Y轴运动速度	8m/min
Z轴运动速度	5m/min
运动轴重复定位精度	≤±0.01mm
保护功能	具备意外断电、断水、断气故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等
智能功能	具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
外形尺寸	长宽高：6×5×3m
整机重量	15吨
能耗功率	Max:26KW Avg:8KW