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晟弘节能科技（上海）有限公司


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iPM半导体中度严苛系列

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iPM半导体中度严苛系列
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晟弘节能科技（上海）有限公司

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产品简介

iPM半导体中度严苛系列

详细介绍

产品型号及名称
真空泵
Vacuum pump
用途
 
Load Lock/Transfer/Metrology /PVD/Etch/Ashing /Litho/Implant
特点
 
绿色制造、全新系列干式真空泵
体积小、耗功低、大幅度降低成本
用于中度严苛制程的节能泵
技术指标
 
Hanbell iPM
100
600
1200
DP size
m3/h
100
100
100
BP size
m3/h
/
600
1200
Peak Speed
m3/h
100
600
1030
Ultimate Vac
mTorr
7.5
3.75
0.75
System Power at Ult.
kW
0.7
1
1.29
Dimension - L
mm
720
720
695
Dimension - W
mm
340
340
340
Dimension - H
mm
465
700
706
Noise
dB（A）
65
65
65
Weight
kg
145
200
400
Inlet Connection
ISO
63
80
100
Outlet Connection
NW
25
25
25

关键词：真空泵
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主营产品：皮带式螺杆空气压缩机


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