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汉钟IPH系列半导体专用真空泵

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品       牌

厂商性质其他

所  在  地上海

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更新时间:2024-08-19 14:42:57浏览次数:132次

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产品简介

用途: Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD 特点: IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能,适用于严苛制程。 它优良的性能源自于转子排气路径和的转子型线设计。 汉钟型线设计,上海,中国台湾,制造。 较之前的版本节能25%,配置有省电模式。 带有加热系统避免制程物沉积。 优化的尺寸,即插即用。

详细介绍

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