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首昂光电(上海)有限公司
1)专业化的晶圆激光刻号打码专用设备,使用于3-6寸晶圆的软打标或硬打标作业
1)专业化的晶圆激光刻号打码专用设备,使用于3-6寸晶圆的软打标或硬打标作业。
2)叠片式上料,传送式送片,花篮式收料,自动完成叠片到裝篮过程;
3)支持OCR字符和点阵字符,全自动生产加工;
4)工业级激光器,稳定可靠,免维护;
5)光束质量好,标识精细,可读性好;
6)操作界面友好,PLC全程控制,使用操作方便。
技术规格 项 目 单 位 数 值
加工尺寸 晶圆尺寸 inch 5 英寸
激光器功率 激光器出口处 W 20瓦
激光器波长 红外光纤激光器 nm 1064纳米
定位精度 mm 0.05毫米
重复精度 mm 0.02毫米
振镜 扫描速度 mm/s 7000毫米/秒
振镜类型 数字/模拟 高速数字式振镜
专业化的晶圆激光刻号打码专用设备,使用于3-6寸晶圆的软打标或硬打标作业。
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